சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர்சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் கோட்டிங் ஹீட்டர் என்பது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு ஹீட்டர் ஆகும். இது சிலிக்கான் கார்பன் பீங்கான் பூச்சு (SiC) ஒரு அடுக்கு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு மேற்பரப்பில் பூச்சு உபகரணங்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் கொடுக்க. 

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டர்வெற்றிட பூச்சு (ஆவியாதல்) கருவிகளில் முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறைகள் PCD (பிளாஸ்மா கெமிக்கல் உலர்த்துதல்) மற்றும் PVD (உடல் நீராவி படிவு) ஆகும், இவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பிற அதிக தேவை உள்ள தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் கோட்டிங் ஹீட்டரின் உயர் செயல்திறன் பூச்சு வடிவமைப்புடன் இணைந்து,இது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு ஒரு சிறந்த வெப்பமூட்டும் தீர்வை வழங்க முடியும்.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பொருள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது, ஹீட்டர் வேலை செய்யும் பகுதியில் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை அடைய முடியும் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்கிறது.

சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்கவும்: சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் கோட்டிங் ஹீட்டர், சூடாக்கும் பகுதி முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை அடைய SiC பொருளின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறனைப் பயன்படுத்துகிறது. விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP), பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் போன்ற பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் குறைக்கடத்தி செதில்களின் சீரான வெப்ப சிகிச்சையை உறுதிப்படுத்த இது மிகவும் முக்கியமானது, உள்ளூர் அதிக வெப்பம் அல்லது சீரற்ற வெப்பநிலையால் ஏற்படும் தயாரிப்பு குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது.

அதிக வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை: SiC பூச்சு பல்வேறு உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது, பொதுவாக 1600°C வரை, மிக அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் வகையில் ஹீட்டரை செயல்படுத்துகிறது.

வெப்ப எதிர்ப்பை மேம்படுத்தவும்: பூச்சு மிக அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் என்பதால், நீண்ட கால உயர் வெப்பநிலை செயல்பாடு தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் இது நன்றாகச் செயல்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் கோட்டிங் ஹீட்டர் அதிக வெப்பநிலையில் உபகரணங்களின் நீண்டகால நிலையான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்து, சீரான வெப்பமூட்டும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது, இதன் மூலம் செயல்முறை மீண்டும் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு அமிலம், காரம் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு மிக உயர்ந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் சிக்கலான இரசாயன வளிமண்டல சூழலில் நீண்ட நேரம் நிலையாக இருக்கும், சாதனங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கும். 

உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டித்தல்: SiC பூச்சு சிறந்த ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக வெப்பநிலையில் இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை திறம்பட எதிர்க்கும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இது மிகவும் முக்கியமானது, குறிப்பாக அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களைக் கையாளும் சூழலில். பூச்சுகளின் பாதுகாப்பு விளைவு ஹீட்டரின் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக நீட்டிக்க முடியும் மற்றும் உபகரணங்களை மாற்றுவதற்கான அதிர்வெண் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கலாம்.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டரின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டர் கடைகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: