சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர்கிராஃபைட்டின் சிறந்த மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பன் பீங்கான் பூச்சுகளின் அணிய எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் கடுமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர்வெற்றிட பூச்சு (ஆவியாதல்) கருவிகளில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறைகள் PCD (பிளாஸ்மா இரசாயன உலர்த்துதல்) மற்றும் PVD (உடல் நீராவி படிவு). இந்த தயாரிப்பு தொழில்நுட்ப முன்னேற்றத்தை ஊக்குவிப்பதிலும், குறைக்கடத்தி துறையில் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துவதிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.உங்களுடன் மேலும் ஒத்துழைப்பை எதிர்பார்க்கிறோம்.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் கோட்டிங் கிராஃபைட் ஹீட்டரின் பொருள் மற்றும் கட்டமைப்பு அம்சங்கள் பின்வருமாறு:

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு: கிராஃபைட் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்திற்காக அறியப்படுகிறது. இது வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு விரைவாக பதிலளிக்கும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.

சிலிக்கான் கார்பன் பீங்கான் பூச்சு: SiC பூச்சு இரசாயன நீராவி படிவு அல்லது பிற மேம்பட்ட செயல்முறைகள் மூலம் கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் சமமாக பூசப்படுகிறது. SiC மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் இருந்து பாதுகாக்கும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டரின் சிறப்பு தயாரிப்பு கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு தீர்மானிக்கிறதுகுறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்பாட்டில் இந்த தயாரிப்பின் ஈடுசெய்ய முடியாத தயாரிப்பு நன்மைகள்:

திறமையான மற்றும் சீரான வெப்பமாக்கல்:

வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஹீட்டரை விரைவாக அடையவும் தேவையான வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும் உதவுகிறது, மேலும் SiC பூச்சு வெப்பத்தின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

வெப்பநிலை சீரான தன்மை: சீரான வெப்ப விநியோகம் மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர் வெப்ப அழுத்தத்தையும் வெப்பநிலை சாய்வையும் திறம்பட குறைக்கிறது, வெப்பமூட்டும் செயல்முறை முழுவதும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் தர நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு பாதுகாப்பு:

இரசாயன எதிர்ப்பு: SiC பூச்சுகளின் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பானது, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தவிர்த்து, அரிக்கும் வாயு மற்றும் இரசாயன சூழல்களில் ஹீட்டர் நிலையான மற்றும் நீண்ட நேரம் செயல்பட உதவுகிறது. இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD) போன்ற செயல்முறைகளில் இந்த அம்சம் மிகவும் முக்கியமானது.

ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: அதிக வெப்பநிலையில், SiC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கலாம், ஹீட்டரின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கலாம் மற்றும் உபகரண பராமரிப்புக்கான அதிர்வெண் மற்றும் செலவைக் குறைக்கலாம்.

துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும்:

மேற்பரப்பு நிலைத்தன்மை: SiC பூச்சு அணிய-எதிர்ப்பு மட்டுமல்ல, வெப்ப சுழற்சி அல்லது இரசாயன எதிர்வினைகள் காரணமாக பொருள் மேற்பரப்பில் இருந்து துகள்கள் விழுவதைத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது ஏற்படக்கூடிய துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் உயர்-தூய்மை செயல்முறை சூழலை உறுதி செய்கிறது.

செயல்முறை நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்:

நீண்ட ஆயுள் வடிவமைப்பு: கிராஃபைட்டின் இயந்திர வலிமை மற்றும் SiC பூச்சுகளின் தேய்மான எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர் கடுமையான செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட காலத்திற்கு உயர்-செயல்திறன் செயல்பாட்டை பராமரிக்க முடியும், இது சாதனங்களின் ஒட்டுமொத்த நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

திறமையான ஆற்றல் பயன்பாடு: கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் SiC பூச்சுகளின் உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை ஆகியவை வெப்பக் கட்டுப்பாட்டுத் துல்லியத்தை மேம்படுத்தும் அதே வேளையில் ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்க ஹீட்டரை செயல்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர்:

VeTek செமிகண்டக்டர்சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கிராஃபைட் ஹீட்டர்கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

/ பிற செயல்முறை