ஒரு தொழில்முறை நுண்துளை SiC வெற்றிட சக் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் சப்ளையர் என, Vetek செமிகண்டக்டரின் போரஸ் SiC வெற்றிட சக் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக CVD மற்றும் PECVD செயல்முறைகளுக்கு வரும்போது. Vetek செமிகண்டக்டர் உயர் செயல்திறன் கொண்ட Pourous SiC Vacuum Chuck உற்பத்தி மற்றும் வழங்குவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
Vetek செமிகண்டக்டர் போரஸ் SiC வெற்றிட சக் முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), சிறந்த செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருள் கொண்டது. நுண்துளை SiC வெற்றிட சக் செமிகண்டக்டர் செயலாக்க செயல்பாட்டில் செதில் ஆதரவு மற்றும் சரிசெய்தல் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும். சீரான உறிஞ்சுதலை வழங்குவதன் மூலம் செதில் மற்றும் சக்கிற்கு இடையே உள்ள நெருங்கிய பொருத்தத்தை இந்த தயாரிப்பு உறுதி செய்ய முடியும், செதில்களின் சிதைவு மற்றும் சிதைவை திறம்பட தவிர்த்து, செயலாக்கத்தின் போது ஓட்டத்தின் தட்டையான தன்மையை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பானது சக்கின் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, வெப்ப விரிவாக்கம் காரணமாக செதில் உதிர்ந்துவிடாமல் தடுக்கும். மேலும் ஆலோசனைக்கு வரவேற்கிறோம்.
எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில், போரஸ் SiC வெற்றிட சக் லேசர் வெட்டுதல், உற்பத்தி சக்தி சாதனங்கள், ஒளிமின்னழுத்த தொகுதிகள் மற்றும் ஆற்றல் மின்னணு கூறுகளுக்கு குறைக்கடத்தி பொருளாக பயன்படுத்தப்படலாம். அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு ஆகியவை மின்னணு சாதனங்களுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில், லேசர்கள், எல்இடி பேக்கேஜிங் பொருட்கள் மற்றும் சோலார் செல்கள் போன்ற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களை உற்பத்தி செய்ய போரஸ் SiC வெற்றிட சக் பயன்படுத்தப்படலாம். அதன் சிறந்த ஒளியியல் பண்புகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
Vetek செமிகண்டக்டர் வழங்க முடியும்:
1. தூய்மை: SiC கேரியர் செயலாக்கம், வேலைப்பாடு, சுத்தம் செய்தல் மற்றும் இறுதிப் பிரசவத்திற்குப் பிறகு, அனைத்து அசுத்தங்களையும் எரிக்க 1200 டிகிரியில் 1.5 மணி நேரம் வெப்பப்படுத்தப்பட வேண்டும், பின்னர் வெற்றிட பைகளில் அடைக்கப்பட வேண்டும்.
2. தயாரிப்பு சமன்பாடு: வேஃபரை வைப்பதற்கு முன், வேகமான பரிமாற்றத்தின் போது கேரியர் பறந்து செல்லாமல் இருக்க, கருவியில் வைக்கப்படும் போது, அது -60kpa க்கு மேல் இருக்க வேண்டும். செதில் வைத்த பிறகு, அது -70kpa க்கு மேல் இருக்க வேண்டும். சுமை இல்லாத வெப்பநிலை -50kpa ஐ விடக் குறைவாக இருந்தால், இயந்திரம் எச்சரிக்கையாக இருக்கும் மற்றும் செயல்பட முடியாது. எனவே, பின்புறத்தின் தட்டையானது மிகவும் முக்கியமானது.
3. எரிவாயு பாதை வடிவமைப்பு: வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்டது.
வாடிக்கையாளர் சோதனையின் 3 நிலைகள்:
1. ஆக்சிஜனேற்ற சோதனை: ஆக்ஸிஜன் இல்லை (வாடிக்கையாளர் விரைவாக 900 டிகிரி வரை வெப்பமடைகிறார், எனவே தயாரிப்பு 1100 டிகிரியில் இணைக்கப்பட வேண்டும்).
2. உலோக எச்சம் சோதனை: 1200 டிகிரி வரை விரைவாக வெப்பமடைகிறது, செதில்களை மாசுபடுத்த உலோக அசுத்தங்கள் வெளியிடப்படாது.
3. வெற்றிட சோதனை: வேஃபருடன் மற்றும் இல்லாமல் அழுத்தத்திற்கு இடையே உள்ள வேறுபாடு +2ka (உறிஞ்சும் சக்தி) க்குள் உள்ளது.
VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் SiC வெற்றிட சக் பண்புகள் அட்டவணை:
VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் SiC வெற்றிட சக் கடைகள்:
செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: