CVD TaC க்கும் சின்டர்டு TaC க்கும் என்ன வித்தியாசம்?

1. டான்டலம் கார்பைடு என்றால் என்ன?

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனால் ஆன ஒரு பைனரி சேர்மமாகும், இது TaCX என்ற அனுபவ சூத்திரத்துடன் கூடியது, இங்கு X பொதுவாக 0.4 முதல் 1 வரை மாறுபடும். அவை மிகவும் கடினமான, உடையக்கூடிய உலோக கடத்தும் பயனற்ற பீங்கான் பொருட்கள். அவை பழுப்பு-சாம்பல் பொடிகள், பொதுவாக சின்டர் செய்யப்பட்டவை. ஒரு முக்கியமான உலோக பீங்கான் பொருளாக, டான்டலம் கார்பைடு வணிக ரீதியாக வெட்டுக் கருவிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் சில சமயங்களில் டங்ஸ்டன் கார்பைடு உலோகக் கலவைகளில் சேர்க்கப்படுகிறது.

படம் 1. டான்டலம் கார்பைடு மூலப்பொருட்கள்

டான்டலம் கார்பைடு பீங்கான் என்பது டான்டலம் கார்பைட்டின் ஏழு படிக நிலைகளைக் கொண்ட ஒரு பீங்கான் ஆகும். வேதியியல் சூத்திரம் TaC, முகத்தை மையமாகக் கொண்ட கனசதுர லட்டு.

படம் 2.டான்டலம் கார்பைடு - விக்கிபீடியா

கோட்பாட்டு அடர்த்தி 1.44, உருகுநிலை 3730-3830℃, வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் 8.3×10-6, மீள் மாடுலஸ் 291GPa, வெப்ப கடத்துத்திறன் 0.22J/cm·S·C, மற்றும் கார்பைடு உருகுநிலையின் உச்சநிலை உருகுநிலை 3880℃, தூய்மை மற்றும் அளவீட்டு நிலைமைகளைப் பொறுத்து. இந்த மதிப்பு பைனரி சேர்மங்களில் மிக அதிகமாக உள்ளது.

படம் 3.TaBr5&ndash இல் டான்டலம் கார்பைட்டின் இரசாயன நீராவி படிவு

2. டான்டலம் கார்பைடு எவ்வளவு வலிமையானது?

விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை, எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை மற்றும் தொடர்ச்சியான மாதிரிகளின் ஒப்பீட்டு அடர்த்தி ஆகியவற்றைச் சோதிப்பதன் மூலம், TaC ஆனது 5.5GPa மற்றும் 1300℃ இல் சிறந்த இயந்திர பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது என்பதை தீர்மானிக்க முடியும். TaC இன் ஒப்பீட்டு அடர்த்தி, எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை மற்றும் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை ஆகியவை முறையே 97.7%, 7.4MPam1/2 மற்றும் 21.0GPa ஆகும்.

டான்டலம் கார்பைடு டான்டலம் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது பரந்த பொருளில் ஒரு வகையான பீங்கான் பொருள்;டான்டலம் கார்பைடு தயாரிக்கும் முறைகள் அடங்கும்CVDமுறை, சின்டரிங் முறை, முதலியன தற்போது, ​​CVD முறையானது செமிகண்டக்டர்களில், அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக விலையுடன் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

3. சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் சிவிடி டான்டலம் கார்பைடு இடையே ஒப்பீடு

குறைக்கடத்திகளின் செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தில், சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (சிவிடி) டான்டலம் கார்பைடு ஆகியவை டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்பதற்கான இரண்டு பொதுவான முறைகள் ஆகும், அவை தயாரிப்பு செயல்முறை, நுண் கட்டமைப்பு, செயல்திறன் மற்றும் பயன்பாடு ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன.

3.1 தயாரிப்பு செயல்முறை

சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு: டான்டலம் கார்பைடு தூள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அழுத்தத்தின் கீழ் சின்டர் செய்யப்பட்டு ஒரு வடிவத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறை தூள் அடர்த்தி, தானிய வளர்ச்சி மற்றும் தூய்மையற்ற நீக்கம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது.

CVD டான்டலம் கார்பைடு: டான்டலம் கார்பைடு வாயு முன்னோடி வெப்பமான அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரியப் பயன்படுகிறது, மேலும் டான்டலம் கார்பைடு படமானது அடுக்காக அடுக்கி வைக்கப்படுகிறது. CVD செயல்முறை நல்ல பட தடிமன் கட்டுப்பாட்டு திறன் மற்றும் கலவை சீரான தன்மை கொண்டது.

3.2 நுண் கட்டமைப்பு

சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு: பொதுவாக, இது பெரிய தானிய அளவு மற்றும் துளைகள் கொண்ட பாலிகிரிஸ்டலின் அமைப்பாகும். அதன் நுண் கட்டமைப்பு சின்டரிங் வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் தூள் பண்புகள் போன்ற காரணிகளால் பாதிக்கப்படுகிறது.

CVD டான்டலம் கார்பைடு: இது பொதுவாக சிறிய தானிய அளவு கொண்ட அடர்த்தியான பாலிகிரிஸ்டலின் படமாகும் மற்றும் அதிக நோக்குநிலை வளர்ச்சியை அடைய முடியும். படத்தின் நுண் கட்டமைப்பு படிவு வெப்பநிலை, வாயு அழுத்தம் மற்றும் வாயு கட்ட கலவை போன்ற காரணிகளால் பாதிக்கப்படுகிறது.

3.3 செயல்திறன் வேறுபாடுகள்

படம் 4. Sintered TaC மற்றும் CVD TaC க்கு இடையேயான செயல்திறன் வேறுபாடுகள்

3.4 விண்ணப்பங்கள்

சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு: அதன் அதிக வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு காரணமாக, இது வெட்டுக் கருவிகள், உடைகள்-எதிர்ப்பு பாகங்கள், உயர் வெப்பநிலை கட்டமைப்பு பொருட்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, செயலாக்கத் திறன் மற்றும் பகுதி மேற்பரப்புத் தரத்தை மேம்படுத்த, துரப்பணங்கள் மற்றும் அரைக்கும் வெட்டிகள் போன்ற வெட்டுக் கருவிகளைத் தயாரிக்க, சின்டர்டு டான்டலம் கார்பைடு பயன்படுத்தப்படலாம்.

சிவிடி டான்டலம் கார்பைடு: அதன் மெல்லிய பட பண்புகள், நல்ல ஒட்டுதல் மற்றும் சீரான தன்மை காரணமாக, இது மின்னணு சாதனங்கள், பூச்சு பொருட்கள், வினையூக்கிகள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, CVD டான்டலம் கார்பைடு ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், அணிய-எதிர்ப்பு பூச்சுகள் மற்றும் வினையூக்கி கேரியர்களுக்கு ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்படும்.

------------------------------------------------- ------------------------------------------------- ------------------------------------------------- ------------------------------------------------- ------------------------------------------------- ----------------------------

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர், சப்ளையர் மற்றும் தொழிற்சாலை என, VeTek செமிகண்டக்டர், செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பொருட்களை தயாரிப்பதில் முன்னணியில் உள்ளது.

எங்கள் முக்கிய தயாரிப்புகள் அடங்கும்சிவிடி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சி அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கான சின்டெர்டு TaC பூசப்பட்ட பாகங்கள். டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கையேடு மோதிரங்கள், TaC பூசப்பட்ட கையேடு மோதிரங்கள், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழலும் வட்டுகள் (Aixtron G10), TaC கோடட் க்ரூசிபிள்கள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி மோதிரங்கள்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டுகள்; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள்; TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தொப்பிகள்; வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையுடன் TaC பூசப்பட்ட தொகுதிகள் போன்றவை.

படம் 5. VeTek செமிகண்டக்டரின் அதிக விற்பனையான TaC பூச்சு தயாரிப்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டர் தொடர்ச்சியான ஆராய்ச்சி மற்றும் மறுசெயல் தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு துறையில் ஒரு கண்டுபிடிப்பாளராக மாற உறுதிபூண்டுள்ளது. 

நீங்கள் TaC தயாரிப்புகளில் ஆர்வமாக இருந்தால், தயவுசெய்து எங்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளவும்.

கும்பல்: +86-180 6922 0752

WhatsAPP: +86 180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com