CVD SiC பற்றி உங்களுக்கு எவ்வளவு தெரியும்?

CVD SiC(ரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு) என்பது இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் ஆகும். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.CVD SiC பொருள்சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் பயன்படுத்த சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

CVD SiC பொருள் அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் சூழல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் அதிக இயந்திர அழுத்தத்தை உள்ளடக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது,முக்கியமாக பின்வரும் தயாரிப்புகள் உட்பட:

CVD SiC பூச்சு:

அதிக வெப்பநிலை, இரசாயன அரிப்பு மற்றும் இயந்திர உடைகள் ஆகியவற்றால் அடி மூலக்கூறு சேதமடைவதைத் தடுக்க, குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காக இது பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SiC வேஃபர் படகு:

செதில்களின் நிலைத்தன்மையையும் செயல்முறைகளின் சீரான தன்மையையும் உறுதி செய்வதற்காக உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் (பரவல் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்றவை) செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும் கொண்டு செல்லவும் பயன்படுகிறது.

SiC செயல்முறை குழாய்:

SiC செயல்முறை குழாய்கள் முக்கியமாக பரவல் உலைகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற உலைகளில் சிலிக்கான் செதில்களுக்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினை சூழலை வழங்கவும், துல்லியமான பொருள் படிவு மற்றும் சீரான ஊக்கமருந்து விநியோகத்தை உறுதி செய்யவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு:

SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு முக்கியமாக பரவல் உலைகள் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற உலைகளில் சிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்ல அல்லது ஆதரிக்கப் பயன்படுகிறது. குறிப்பாக பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், தீவிர சூழல்களில் சிலிக்கான் செதில்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான சிகிச்சையை இது உறுதி செய்கிறது.

CVD SiC ஷவர் ஹெட்:

சீரான வாயு விநியோகம் மற்றும் செதுக்கல் விளைவை உறுதி செய்வதற்காக, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையுடன், பிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளில் வாயு விநியோகக் கூறுகளாக இது பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SiC பூசப்பட்ட உச்சவரம்பு:

உபகரண எதிர்வினை அறையில் உள்ள கூறுகள், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களால் சேதத்திலிருந்து உபகரணங்களைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுகின்றன, மேலும் உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கின்றன.

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்கள்:

செதில்களின் சீரான வெப்பம் மற்றும் படிவு தரத்தை உறுதிப்படுத்த சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் வேஃபர் கேரியர்கள்.

இரசாயன நீராவி டெபாசிட் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD SiC) செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, முக்கியமாக அதிக வெப்பநிலை, அரிப்பு மற்றும் அதிக கடினத்தன்மையை எதிர்க்கும் சாதனங்கள் மற்றும் கூறுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.அதன் முக்கிய பங்கு பின்வரும் அம்சங்களில் பிரதிபலிக்கிறது:

உயர் வெப்பநிலை சூழலில் பாதுகாப்பு பூச்சுகள்:

செயல்பாடு: CVD SiC பெரும்பாலும் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் (suceptors, எதிர்வினை அறை லைனிங் போன்றவை) முக்கிய கூறுகளின் மேற்பரப்பு பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் வேலை செய்ய வேண்டும், மேலும் CVD SiC பூச்சுகள் அடி மூலக்கூறை அதிக வெப்பநிலை சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்க சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்க முடியும்.

நன்மைகள்: CVD SiC இன் உயர் உருகும் புள்ளி மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவை அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட நேரம் நிலையாக செயல்பட முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது, இது உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு பயன்பாடுகள்:

செயல்பாடு: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், CVD SiC பூச்சு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும் மற்றும் உபகரணங்கள் மற்றும் சாதனங்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கும். ஃவுளூரைடுகள் மற்றும் குளோரைடுகள் போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களைக் கையாளுவதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

நன்மைகள்: கூறுகளின் மேற்பரப்பில் CVD SiC பூச்சு வைப்பதன் மூலம், அரிப்பினால் ஏற்படும் உபகரணங்கள் சேதம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகள் வெகுவாகக் குறைக்கப்படலாம், மேலும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.

அதிக வலிமை மற்றும் உடைகள்-எதிர்ப்பு பயன்பாடுகள்:

செயல்பாடு: CVD SiC பொருள் அதன் உயர் கடினத்தன்மை மற்றும் அதிக இயந்திர வலிமைக்கு அறியப்படுகிறது. மெக்கானிக்கல் முத்திரைகள், சுமை தாங்கும் கூறுகள் போன்ற உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக துல்லியம் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி கூறுகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கூறுகள் செயல்பாட்டின் போது வலுவான இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் உராய்வுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன. CVD SiC இந்த அழுத்தங்களைத் திறம்பட எதிர்த்து, சாதனத்தின் நீண்ட ஆயுளையும் நிலையான செயல்திறனையும் உறுதிசெய்யும்.

நன்மைகள்: CVD SiC யால் செய்யப்பட்ட கூறுகள் தீவிர சூழல்களில் இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு அவற்றின் பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு பூச்சு ஆகியவற்றை பராமரிக்க முடியும்.

அதே நேரத்தில், CVD SiC முக்கிய பங்கு வகிக்கிறதுLED epitaxial வளர்ச்சி, சக்தி குறைக்கடத்திகள் மற்றும் பிற துறைகள். குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், CVD SiC அடி மூலக்கூறுகள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றனEPI சஸ்செப்டர்கள். அவற்றின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவை வளர்ந்த எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அதிக தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்கின்றன. கூடுதலாக, CVD SiC பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறதுPSS பொறித்தல் கேரியர்கள், RTP வேஃபர் கேரியர்கள், ICP எச்சிங் கேரியர்கள், முதலியன, சாதனத்தின் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக குறைக்கடத்தி பொறிப்பின் போது நிலையான மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., LTD செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்கும் முன்னணி நிறுவனமாகும். எங்கள் நிறுவனம் தொழில்துறைக்கான தீர்வுகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள், மொத்த SiC, SiC பொடிகள் மற்றும் உயர் தூய்மையான SiC பொருட்கள், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர், ப்ரீஹீட், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், அரை நிலவு, வெட்டு பாகங்கள் போன்றவை அடங்கும். ., தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வெட்டு வளையங்கள் வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான அதிநவீன தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு மேம்பாட்டு தீர்வுகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.