TaC பூச்சு என்றால் என்ன?

TaC பூச்சு (டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு) என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பூச்சு பொருளாகும். தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் TaC பூச்சுகளின் சிறந்த பண்புகள் காரணமாக, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வலுவான அரிக்கும் சூழல் தேவைப்படும் உபகரணங்கள் மற்றும் கூறுகளில். TaC பூச்சு பொதுவாக அடி மூலக்கூறுகளை (கிராஃபைட் அல்லது மட்பாண்டங்கள் போன்றவை) அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இயந்திர உடைகள் ஆகியவற்றால் சேதமடையாமல் பாதுகாக்கப் பயன்படுகிறது.

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

மிக அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை:

அம்சம் விளக்கம்: TaC பூச்சு 3880°C க்கும் அதிகமான உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மிக அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.

நன்மை: இது CVD TaC பூச்சு மற்றும் TaC கோடட் சஸ்பெப்டர் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் தவிர்க்க முடியாத பொருளாக ஆக்குகிறது, குறிப்பாக Aixtron G5 உபகரணங்கள் போன்ற MOCVD உலைகளில் உள்ள பயன்பாடுகளுக்கு.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:

சிறப்பு விளக்கம்: TaC மிகவும் வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் குளோரைடுகள் மற்றும் ஃவுளூரைடுகள் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும்.

நன்மைகள்: அதிக அரிக்கும் இரசாயனங்கள் உள்ளடங்கிய குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், TaC பூச்சு இரசாயன தாக்குதலில் இருந்து உபகரண கூறுகளை பாதுகாக்கிறது, சேவை வாழ்க்கையை நீடிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு மற்றும் பிற முக்கிய கூறுகளின் பயன்பாட்டில்.

சிறந்த இயந்திர கடினத்தன்மை:

சிறப்பு விளக்கம்: TaC பூச்சுகளின் கடினத்தன்மை 9-10 Mohs வரை அதிகமாக உள்ளது, இது இயந்திர உடைகள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை அழுத்தத்தை எதிர்க்கும்.

நன்மை: அதிக கடினத்தன்மை பண்பு TaC பூச்சுகளை அதிக உடைகள் மற்றும் அதிக அழுத்த சூழல்களில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது, இது கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் உபகரணங்களின் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

குறைந்த இரசாயன வினைத்திறன்:

சிறப்பு விளக்கம்: அதன் இரசாயன செயலற்ற தன்மை காரணமாக, TaC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை சூழலில் குறைந்த வினைத்திறனை பராமரிக்கலாம் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுடன் தேவையற்ற இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தவிர்க்கலாம்.

நன்மை: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது செயல்முறை சூழலின் தூய்மை மற்றும் பொருட்களின் உயர்தர படிவு ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் TaC பூச்சுகளின் பங்கு

முக்கிய உபகரண கூறுகளைப் பாதுகாத்தல்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: TaC பூச்சு, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் வேலை செய்ய வேண்டிய TaC கோடட் சஸ்பெக்டர் போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. TaC உடன் பூசுவதன் மூலம், இந்த கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் சேதமடையாமல் நீண்ட காலத்திற்கு செயல்பட முடியும்.

உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: Aixtron G5 போன்ற MOCVD உபகரணங்களில், TaC பூச்சு சாதனக் கூறுகளின் ஆயுளைக் கணிசமாக மேம்படுத்தலாம் மற்றும் அரிப்பு மற்றும் தேய்மானம் காரணமாக உபகரணப் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றத்தின் தேவையைக் குறைக்கும்.

செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும்:

செயல்பாடு விளக்கம்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், நிலையான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழலை வழங்குவதன் மூலம், படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை TaC பூச்சு உறுதி செய்கிறது. சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) போன்ற எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது.

செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்:

செயல்பாட்டு விளக்கம்: உபகரணங்களின் மேற்பரப்பில் பூச்சுகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம், TaC பூச்சு செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்தவும், குறைபாடு விகிதத்தை குறைக்கவும் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை அதிகரிக்கவும் முடியும். உயர்-துல்லியமான, உயர்-தூய்மை செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் உற்பத்திக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தின் போது TaC பூச்சு வெளிப்படுத்தும் உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த இரசாயன வினைத்திறன் ஆகியவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் கூறுகளைப் பாதுகாப்பதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன. செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் உயர் வெப்பநிலை, உயர் தூய்மை மற்றும் திறமையான உற்பத்தி செயல்முறைகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், TaC பூச்சு பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக CVD TaC பூச்சு, TaC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் மற்றும் Aixtron G5 ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறைகளில்.

VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., LTD செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்கும் முன்னணி நிறுவனமாகும். எங்கள் நிறுவனம் தொழில்துறைக்கான அதிநவீன தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

எங்களின் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள், மொத்த SiC, SiC பொடிகள் மற்றும் உயர்-தூய்மை SiC பொருட்கள், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர், ப்ரீஹீட் மோதிரங்கள், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், அரை நிலவு பாகங்கள் போன்றவை அடங்கும். ., தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான அதிநவீன தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு மேம்பாட்டு தீர்வுகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.