MOCVD Susceptor பற்றி உங்களுக்குத் தெரியுமா?

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில், உறிஞ்சி என்பது செதில்களை ஆதரிப்பதற்கும், படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கும் பொறுப்பான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் பொருள் தேர்வு மற்றும் தயாரிப்பு பண்புகள் நேரடியாக எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் உற்பத்தியின் தரத்தையும் பாதிக்கிறது.

MOCVD ஏற்பி(உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய செயல்முறை கூறு ஆகும். இது முக்கியமாக MOCVD (உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) செயல்பாட்டில் மெல்லிய படல படிவுக்கான செதில்களை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இறுதி தயாரிப்பின் சீரான தன்மை, செயல்திறன் மற்றும் தரம் ஆகியவற்றிற்கு ஏற்பியின் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு மிகவும் முக்கியமானது.

தயாரிப்பு வகை மற்றும் பொருள் தேர்வு:

MOCVD சஸ்செப்டரின் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு வேறுபட்டது, பொதுவாக செயல்முறை தேவைகள் மற்றும் எதிர்வினை நிலைமைகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.பின்வருபவை பொதுவான தயாரிப்பு வகைகள் மற்றும் அவற்றின் பொருட்கள்:

SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்(சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்):

விளக்கம்: SiC பூச்சு கொண்ட சஸ்செப்டர், கிராஃபைட் அல்லது பிற உயர்-வெப்பநிலைப் பொருட்களை அடி மூலக்கூறாகக் கொண்டு, மற்றும் CVD SiC பூச்சு (CVD SiC பூச்சு) மேற்பரப்பில் அதன் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது.

பயன்பாடு: அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் MOCVD செயல்முறைகளில், குறிப்பாக சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் கலவை குறைக்கடத்தி படிவுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்:

விளக்கம்: முக்கிய பொருளாக TaC பூச்சு (CVD TaC பூச்சு) கொண்ட சஸ்செப்டர் மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை கொண்டது மற்றும் மிகவும் அரிக்கும் சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.

பயன்பாடு: காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு (GaAs) ஆகியவற்றின் படிவு போன்ற அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

MOCVD க்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்:

விளக்கம்: அடி மூலக்கூறு கிராஃபைட் ஆகும், மேலும் உயர் வெப்பநிலையில் நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்வதற்காக மேற்பரப்பு CVD SiC பூச்சு அடுக்குடன் மூடப்பட்டிருக்கும்.

பயன்பாடு: உயர்தர கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்ய Aixtron MOCVD உலைகள் போன்ற உபகரணங்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.

EPI ஏற்பி (Epitaxy Receptor):

விளக்கம்: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட சஸ்செப்டர், பொதுவாக அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் ஆயுளை அதிகரிக்க SiC பூச்சு அல்லது TaC பூச்சு கொண்டது.

பயன்பாடு: சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் கலவை செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில், இது சீரான வெப்பமாக்கல் மற்றும் செதில்களின் படிவு ஆகியவற்றை உறுதிப்படுத்த பயன்படுகிறது.

செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் MOCVDக்கான சஸ்செப்டரின் முக்கிய பங்கு:

செதில் ஆதரவு மற்றும் சீரான வெப்பமாக்கல்:

செயல்பாடு: MOCVD உலைகளில் உள்ள செதில்களை ஆதரிக்கவும், தூண்டல் வெப்பமாக்கல் அல்லது சீரான படப் படிவை உறுதிசெய்ய மற்ற முறைகள் மூலம் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்கவும் சசெப்டர் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மை:

செயல்பாடு: சஸ்பெப்டர் பொருட்களின் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை முக்கியமானவை. SiC கோடட் சஸ்செப்டர் மற்றும் TaC கோடட் சஸ்செப்டர் ஆகியவை அவற்றின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பின் காரணமாக உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், சீரற்ற வெப்பநிலையால் ஏற்படும் படக் குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட ஆயுள்:

செயல்பாடு: MOCVD செயல்பாட்டில், சஸ்பெப்டர் பல்வேறு இரசாயன முன்னோடி வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும். SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சு சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, பொருள் மேற்பரப்பு மற்றும் எதிர்வினை வாயு இடையே தொடர்பு குறைக்க, மற்றும் Susceptor சேவை வாழ்க்கை நீட்டிக்க.

எதிர்வினை சூழலை மேம்படுத்துதல்:

செயல்பாடு: உயர்தர சஸ்பெப்டர்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், MOCVD அணு உலையில் வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலைப் புலம் உகந்ததாக இருக்கும், இது ஒரு சீரான படப் படிவு செயல்முறையை உறுதிசெய்து, சாதனத்தின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. இது பொதுவாக MOCVD உலைகள் மற்றும் Aixtron MOCVD உபகரணங்களுக்கான சஸ்பெப்டர்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப நன்மைகள்：

உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை:

அம்சங்கள்: SiC மற்றும் TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டவை, விரைவாகவும் சமமாகவும் வெப்பத்தை விநியோகிக்க முடியும், மேலும் செதில்களின் சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்ய அதிக வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.

நன்மைகள்: காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு (GaAs) போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் MOCVD செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:

அம்சங்கள்: CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவை மிக அதிக இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் குளோரைடுகள் மற்றும் ஃவுளூரைடுகள் போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பைத் தடுக்கும், சஸ்செப்டரின் அடி மூலக்கூறு சேதமடையாமல் பாதுகாக்கும்.

நன்மைகள்: சஸ்செப்டரின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கவும், பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கவும் மற்றும் MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்.

உயர் இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை:

அம்சங்கள்: SiC மற்றும் TaC பூச்சுகளின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையானது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த சூழல்களில் இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கி நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை பராமரிக்க சசெப்டருக்கு உதவுகிறது.

நன்மைகள்: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு போன்ற அதிக துல்லியம் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானது.

சந்தை பயன்பாடு மற்றும் மேம்பாட்டு வாய்ப்புகள்

MOCVD சஸ்செப்டர்கள்அதிக பிரகாசம் கொண்ட LEDகள், ஆற்றல் மின்னணு சாதனங்கள் (GaN- அடிப்படையிலான HEMTகள் போன்றவை), சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற ஒளிமின்னணு சாதனங்கள் தயாரிப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அதிக செயல்திறன் மற்றும் குறைந்த மின் நுகர்வு குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், MOCVD தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறி, சஸ்பெப்டர் பொருட்கள் மற்றும் வடிவமைப்புகளில் புதுமைகளை உருவாக்குகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி கொண்ட SiC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்குதல், மேலும் பெரிய செதில்கள் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான பல அடுக்கு எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்ப சஸ்செப்டரின் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பை மேம்படுத்துதல்.

VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., LTD செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்கும் முன்னணி நிறுவனமாகும். எங்கள் நிறுவனம் தொழில்துறைக்கான அதிநவீன தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

எங்களின் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள், மொத்த SiC, SiC பொடிகள் மற்றும் உயர்-தூய்மை SiC பொருட்கள், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர், ப்ரீஹீட் மோதிரங்கள், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், அரை நிலவு பாகங்கள் போன்றவை அடங்கும். ., தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான அதிநவீன தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு மேம்பாட்டு தீர்வுகளை மேம்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.