MOCVD ஏற்பி

CVD SiC பூச்சு உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு Aixtron G5 MOCVD சஸ்செப்டர்களை வழங்க விரும்புகிறது, இது உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் CVD SiC பூச்சு (5ppm க்கு கீழே) ஆகியவற்றால் ஆனது.

எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

மைக்ரோ LED தொழில்நுட்பமானது, LCD அல்லது செமிகண்டக்டர் தொழில்களில் மட்டுமே காணப்பட்ட முறைகள் மற்றும் அணுகுமுறைகள் மூலம் தற்போதுள்ள LED சுற்றுச்சூழல் அமைப்பை சீர்குலைக்கிறது, மேலும் Aixtron G5 MOCVD அமைப்பு இந்த கடுமையான நீட்டிப்புத் தேவைகளை முழுமையாக ஆதரிக்கிறது. Aixtron G5 என்பது சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்ஸி வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சக்திவாய்ந்த MOCVD உலை ஆகும்.

உற்பத்தி செய்யப்படும் அனைத்து எபிடாக்சியல் செதில்களும் மிகவும் இறுக்கமான அலைநீள விநியோகம் மற்றும் மிகக் குறைந்த மேற்பரப்பு குறைபாடு நிலைகளைக் கொண்டிருப்பது அவசியம், இதற்கு புதுமையான MOCVD தொழில்நுட்பம் தேவைப்படுகிறது.

Aixtron G5 என்பது ஒரு கிடைமட்ட பிளானட்டரி டிஸ்க் எபிடாக்சி சிஸ்டம், முக்கியமாக பிளானட்டரி டிஸ்க், எம்ஓசிவிடி சஸ்செப்டர், கவர் ரிங், சீலிங், சப்போர்டிங் ரிங், கவர் டிஸ்க், எக்ஹுஸ்ட் கலெக்டர், பின் வாஷர், கலெக்டர் இன்லெட் ரிங் போன்றவை., முக்கிய தயாரிப்பு பொருட்கள் சிவிடி எஸ்ஐசி கோட்டிங்+ உயர் தூய்மை கிராஃபைட், குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ், CVD TaC பூச்சு+உயர் தூய்மை கிராஃபைட், திடமான உணர்திறன் மற்றும் பிற பொருட்கள்.

MOCVD சஸ்பெப்டர் அம்சங்கள் பின்வருமாறு:

அடிப்படை பொருள் பாதுகாப்பு: CVD SiC பூச்சு எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது, இது அடிப்படை பொருளுக்கு வெளிப்புற சூழலின் அரிப்பு மற்றும் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கிறது, நம்பகமான பாதுகாப்பு நடவடிக்கைகளை வழங்குகிறது மற்றும் உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது மற்றும் அடிப்படை பொருளிலிருந்து பூச்சு மேற்பரப்புக்கு வெப்பத்தை விரைவாக மாற்ற முடியும், எபிடாக்ஸியின் போது வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உபகரணங்கள் பொருத்தமான வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்: CVD SiC பூச்சு ஒரு தட்டையான, சீரான மேற்பரப்பை வழங்க முடியும், இது பட வளர்ச்சிக்கு ஒரு நல்ல அடித்தளத்தை வழங்குகிறது. இது லேட்டிஸ் பொருத்தமின்மையால் ஏற்படும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கலாம், படத்தின் படிகத்தன்மை மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்தலாம், இதனால் எபிடாக்சியல் படத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

தொழில்துறை சங்கிலி:

உற்பத்தி கடை