சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர், உயர்தர சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டரை வழங்க அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. சசெப்டர் செமிகண்டக்டர் VEECO K465i GaN MOCVD அமைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதிக தூய்மை, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, எங்களுடன் விசாரிக்கவும் ஒத்துழைக்கவும் வரவேற்கிறோம்!

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek Semiconducto உயர் தரம் மற்றும் நியாயமான விலையில் சீனா சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் உற்பத்தியாளர் ஒரு தொழில்முறை தலைவர். எங்களை தொடர்பு கொள்ள வரவேற்கிறோம்.

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர் என்பது சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர் என்பது VEECO K465i GaN MOCVD அமைப்பில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது GaN பொருளின் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் உயர் தூய்மை மற்றும் உயர்தர கிராஃபைட் பொருளை அடி மூலக்கூறாக ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. இந்த அடி மூலக்கூறு அதிக வெப்பநிலை சூழல்களை தாங்கும் திறன் கொண்டது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்காக, இந்த சஸ்பெக்டரின் மேற்பரப்பு பூச்சு உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் சீரான சிலிக்கான் கார்பைடைப் பயன்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் இரசாயன எதிர்வினை மற்றும் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும்.

இந்த வேஃபர் சஸ்செப்டரின் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு ஆகியவை உகந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர்தர GaN எபிடாக்ஸி வளர்ச்சியை ஆதரிக்க இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அதன் உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் சீரான தன்மை வளர்ச்சியின் போது நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இதன் விளைவாக உயர்தர GaN படம் உருவாகிறது.

பொதுவாக, சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் என்பது உயர் தூய்மை, உயர்தர கிராப்ட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் உயர் தூய்மை, உயர் சீரான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி குறிப்பாக VEECO K465i GaN MOCVD அமைப்பிற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்பு ஆகும். இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு நிலைத்தன்மை, நம்பகத்தன்மை மற்றும் உயர்தர ஆதரவை வழங்குகிறது.

ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	அலகு	வழக்கமான மதிப்பு
மொத்த அடர்த்தி	g/cm³	1.83
கடினத்தன்மை	எச்.எஸ்.டி	58
மின் எதிர்ப்பாற்றல்	mΩ.m	10
நெகிழ்வு வலிமை	MPa	47
அமுக்கு வலிமை	MPa	103
இழுவிசை வலிமை	MPa	31
யங்ஸ் மாடுலஸ்	GPa	11.8
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	10-6K-1	4.6
வெப்ப கடத்தி	W·m-1·K-1	130
சராசரி தானிய அளவு	μm	8-10
போரோசிட்டி	%	10
சாம்பல் உள்ளடக்கம்	பிபிஎம்	≤10 (சுத்திகரிக்கப்பட்ட பிறகு)

சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர் இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

குறிப்பு: பூச்சுக்கு முன், முதல் சுத்திகரிப்பு செய்வோம், பூச்சுக்குப் பிறகு, இரண்டாவது சுத்திகரிப்பு செய்வோம்.

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

சூடான குறிச்சொற்கள்: சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை