VeTek செமிகண்டக்டரில், CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் ஆராய்ச்சி, மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். ஒரு முன்மாதிரியான தயாரிப்பு SiC கோட்டிங் கவர் செக்மென்ட்ஸ் இன்னர் ஆகும், இது மிகவும் துல்லியமான மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC மேற்பரப்பை அடைவதற்கு விரிவான செயலாக்கத்திற்கு உட்படுகிறது. இந்த பூச்சு அதிக வெப்பநிலைக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை நிரூபிக்கிறது மற்றும் வலுவான அரிப்பு பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. எந்த விசாரணைக்கும் எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.
சீன உற்பத்தியாளர் VeTek செமிகண்டூட்டரால் உயர்தர SiC பூச்சு அட்டைப் பகுதிகள் இன்னர் வழங்கப்படுகிறது. குறைந்த விலையில் நேரடியாக உயர் தரத்தில் SiC பூச்சு அட்டைப் பிரிவுகளை (உள்) வாங்கவும்.
VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோட்டிங் கவர் பிரிவுகள் (உள்) தயாரிப்புகள் Aixtron MOCVD அமைப்பிற்கான மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் அத்தியாவசிய கூறுகளாகும்.
தயாரிப்பின் பயன்பாடு மற்றும் நன்மைகளை முன்னிலைப்படுத்தும் ஒரு ஒருங்கிணைந்த விளக்கம் இங்கே:
எங்கள் 14x4-இன்ச் முழுமையான SiC பூச்சு அட்டைப் பிரிவுகள் (உள்) Aixtron உபகரணங்களில் பயன்படுத்தும் போது பின்வரும் நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாட்டுக் காட்சிகளை வழங்குகிறது:
சரியான பொருத்தம்: இந்த அட்டைப் பிரிவுகள் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, Aixtron உபகரணங்களுக்குத் தடையின்றி பொருந்தும் வகையில் தயாரிக்கப்பட்டு, நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
உயர் தூய்மை பொருள்: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக உயர்-தூய்மைப் பொருட்களிலிருந்து கவர் பிரிவுகள் செய்யப்படுகின்றன.
உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: கவர் பிரிவுகள் அதிக வெப்பநிலைக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன, உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் சிதைவு அல்லது சேதம் இல்லாமல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கின்றன.
சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை: விதிவிலக்கான இரசாயன செயலற்ற தன்மையுடன், இந்த கவர் பிரிவுகள் இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கின்றன, நம்பகமான பாதுகாப்பு அடுக்கை வழங்குகின்றன மற்றும் அவற்றின் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகின்றன.
தட்டையான மேற்பரப்பு மற்றும் துல்லியமான எந்திரம்: கவர் பிரிவுகள் மென்மையான மற்றும் சீரான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளன, துல்லியமான எந்திரத்தின் மூலம் அடையப்படுகிறது. இது Aixtron உபகரணங்களில் உள்ள மற்ற கூறுகளுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் உகந்த செயல்முறை செயல்திறனை வழங்குகிறது.
எங்கள் 14x4-இன்ச் முழுமையான உள் கவர் பிரிவுகளை Aixtron உபகரணங்களில் இணைப்பதன் மூலம், உயர்தர குறைக்கடத்தி மெல்லிய-பட வளர்ச்சி செயல்முறைகளை அடைய முடியும். மெல்லிய பட வளர்ச்சிக்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான அடித்தளத்தை வழங்குவதில் இந்த அட்டைப் பிரிவுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.
Aixtron உபகரணங்களுடன் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கும் உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம். செயல்முறை மேம்படுத்தல் அல்லது புதிய தயாரிப்பு மேம்பாடு என எதுவாக இருந்தாலும், தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்குவதற்கும், உங்களிடம் உள்ள எந்த விசாரணைகளுக்கும் தீர்வு காண்பதற்கும் நாங்கள் இங்கு இருக்கிறோம்.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |