VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டர் என்பது சிறந்த செயல்முறை, ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை கொண்ட ஒரு சாதனமாகும். அவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கி, நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளைப் பராமரிக்கின்றன, இதன் மூலம் மாற்று மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. எங்களின் MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் அதன் அதிக அடர்த்தி, சிறந்த சமதளம் மற்றும் சிறந்த வெப்பக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்குப் புகழ்பெற்றது, இது கடுமையான உற்பத்திச் சூழல்களில் விருப்பமான கருவியாக அமைகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைக்க காத்திருக்கிறேன்.
SiC பூசப்பட்ட ஒரு பெரிய தேர்வைக் கண்டறியவும்MOCVD ஏற்பிVeTek செமிகண்டக்டரில் சீனாவில் இருந்து. தொழில்முறை விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை மற்றும் சரியான விலையை வழங்கவும், ஒத்துழைப்பை எதிர்நோக்குகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர்கள்MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்கள்செதில் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பொதுவான உயர் வெப்பநிலை சூழல்கள் மற்றும் கடுமையான இரசாயன நிலைமைகளை தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. துல்லியமான பொறியியல் மூலம், எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் அமைப்புகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய இந்தக் கூறுகள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எங்கள் MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்கள் ஒரு அடுக்குடன் பூசப்பட்ட உயர்தர கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளால் ஆனது.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டிருப்பது மட்டுமல்லாமல், சீரான வெப்ப விநியோகத்தையும் உறுதி செய்கிறது, இது நிலையான எபிடாக்சியல் ஃபிலிம் படிவுகளை பராமரிக்க முக்கியமானது.
கூடுதலாக, எங்கள் குறைக்கடத்தி சஸ்செப்டர்கள் சிறந்த வெப்ப செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளன, இது குறைக்கடத்தி வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்த வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. அவை அதிக வெப்பநிலை, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு ஆகியவற்றின் தாக்குதலைத் தாங்கும் திறன் கொண்டவை, மிகவும் சவாலான இயக்க சூழல்களில் கூட நம்பகமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.
கூடுதலாக, SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டர்கள் சீரான தன்மையை மையமாகக் கொண்டு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது உயர்தர ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது. செதில் மேற்பரப்பில் சிறந்த ஒற்றை படிக வளர்ச்சியை அடைய சமதளத்தை அடைவது அவசியம்.
VeTek செமிகண்டக்டரில், தொழில்துறை தரத்தை மீறுவதற்கான எங்கள் ஆர்வம், எங்கள் கூட்டாளர்களுக்கான செலவு-செயல்திறனுக்கான எங்கள் அர்ப்பணிப்பைப் போலவே முக்கியமானது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் எப்போதும் மாறிவரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய MOCVD Epitaxial Susceptor போன்ற தயாரிப்புகளை வழங்க நாங்கள் முயல்கிறோம் மற்றும் உங்கள் செயல்பாடு மிகவும் மேம்பட்ட கருவிகளுடன் இருப்பதை உறுதிசெய்ய அதன் வளர்ச்சிப் போக்குகளை எதிர்பார்க்கிறோம். உங்களுடன் நீண்ட கால கூட்டாண்மையை உருவாக்கி தரமான தீர்வுகளை உங்களுக்கு வழங்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·கே-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் கட்டமைப்பின் SEM தரவு