CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர்

Vetek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த சூழல்களில் அணு உலையின் உள் கூறுகளுக்கு பாதுகாப்பை வழங்க இது பொதுவாக அணு உலைக்குள் ஒரு பாதுகாப்பு உறையாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த பாதுகாப்பு உறை அணுஉலையில் உள்ள இரசாயனங்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையை திறம்பட தனிமைப்படுத்தி, அவை உபகரணங்களுக்கு சேதம் விளைவிப்பதைத் தடுக்கிறது. அதே நேரத்தில், CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர் சிறந்த தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது, இது கடினமான பணிச்சூழலில் நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால ஆயுளைப் பராமரிக்க உதவுகிறது. இந்த பொருளால் செய்யப்பட்ட பாதுகாப்பு அட்டைகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம், பராமரிப்பு தேவைகள் மற்றும் சேதத்தின் அபாயத்தை குறைக்கும் போது சாதனத்தின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க முடியும்.

CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, இதில் பின்வரும் அம்சங்கள் உட்பட ஆனால் அவை மட்டும் அல்ல:

வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள்: CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வழங்கும் அதே வேளையில் அதிக வெப்பநிலையிலிருந்து உட்புற கூறுகளை பாதுகாக்க வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களில் ஒரு பாதுகாப்பு உறை அல்லது வெப்ப கவசமாக பயன்படுத்தலாம்.

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உலை: CVD அணுஉலையில், CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டரை இரசாயன எதிர்வினை அறைக்கு ஒரு பாதுகாப்பு உறையாகப் பயன்படுத்தலாம், இது எதிர்வினைப் பொருளைத் திறம்பட தனிமைப்படுத்தி அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.

அரிக்கும் சூழல்களில் பயன்பாடுகள்: அதன் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பின் காரணமாக, CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டரை, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது அரிக்கும் வாயு அல்லது திரவ சூழல்கள் போன்ற வேதியியல் ரீதியாக அரிக்கப்பட்ட சூழல்களில் பயன்படுத்தலாம்.

குறைக்கடத்தி வளர்ச்சி உபகரணங்கள்: பாதுகாப்பு கவர்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் வளர்ச்சி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் பிற கூறுகள், அதிக வெப்பநிலை, இரசாயன அரிப்பு மற்றும் சாதனங்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்யும் உடைகள் ஆகியவற்றிலிருந்து உபகரணங்களைப் பாதுகாக்கின்றன.

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த இயந்திர பண்புகள், வெப்ப கடத்துத்திறன். இந்த சிறந்த செயல்திறனுடன், குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் வெப்பத்தை மிகவும் திறமையாக வெளியேற்ற உதவுகிறது, சாதனத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

உற்பத்தி கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: