8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செயல்முறை முதிர்ச்சியடையும் போது, உற்பத்தியாளர்கள் 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குலத்திற்கு மாற்றத்தை துரிதப்படுத்துகின்றனர். சமீபத்தில், ON செமிகண்டக்டர் மற்றும் ரெசோனாக் 8 அங்குல SiC உற்பத்தியில் புதுப்பிப்புகளை அறிவித்தன.
மேலும் படிக்கபவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பிற துறைகளில் SiC பொருட்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளின் முக்கிய பகுதியாக மாறும். SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களின் மையமாக, வெப்ப புல வடிவமைப்பு த......
மேலும் படிக்கசில்லு உற்பத்தி செயல்முறையில் ஒளிப்படவியல், பொறித்தல், பரவல், மெல்லிய படலம், அயன் பொருத்துதல், இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல், சுத்தம் செய்தல் போன்றவை அடங்கும். இந்தச் செயல்முறைகள் MOSFET தயாரிப்பதற்கு எவ்வாறு ஒருங்கிணைக்கப்படுகின்றன என்பதை தோராயமாக இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது.
மேலும் படிக்கதொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப முன்னேற்றம் மற்றும் ஆழமான பொறிமுறை ஆராய்ச்சி மூலம், 3C-SiC ஹெட்டோரோபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி துறையில் மிக முக்கிய பங்கு வகிக்கும் மற்றும் உயர் திறன் கொண்ட மின்னணு சாதனங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
மேலும் படிக்கஇடஞ்சார்ந்த ALD, இடஞ்சார்ந்த தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அணு அடுக்கு படிவு. செதில் வெவ்வேறு நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்கிறது மற்றும் ஒவ்வொரு நிலையிலும் வெவ்வேறு முன்னோடிகளுக்கு வெளிப்படும். கீழே உள்ள படம் பாரம்பரிய ALD மற்றும் இடஞ்சார்ந்த தனிமைப்படுத்தப்பட்ட ALD ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான ஒப்பீடு ஆகும்.
மேலும் படிக்க