SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு SiC பூச்சு ஒரு முக்கிய மையப் பொருளாக இருப்பதற்கான காரணங்களை இந்தக் கட்டுரை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் SiC பூச்சுகளின் குறிப்பிட்ட நன்மைகள் மீது கவனம் செலுத்துகிறது.
மேலும் படிக்கசிலிக்கான் கார்பைடு நானோ பொருட்கள் (SiC) என்பது நானோமீட்டர் அளவில் (1-100nm) குறைந்தபட்சம் ஒரு பரிமாணத்தைக் கொண்ட பொருட்கள் ஆகும். இந்த பொருட்கள் பூஜ்ஜியம்-, ஒன்று-, இரண்டு- அல்லது முப்பரிமாணமாக இருக்கலாம் மற்றும் பல்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.
மேலும் படிக்கCVD SiC என்பது இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்வரும் உள்ளடக்கமானது CVD SiC இன் தயாரிப்பு வகைப்பாடு மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளுக்கான அறிமு......
மேலும் படிக்கஇந்த கட்டுரை முக்கியமாக தயாரிப்பு வகைகள், தயாரிப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD சஸ்பெக்டரின் முக்கிய செயல்பாடுகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் ஒட்டுமொத்தமாக MOCVD சஸ்பெக்டர் தயாரிப்புகளின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் விளக்கத்தை செய்கிறது.
மேலும் படிக்க