2024-09-24
இயற்பியல் செயல்முறைவெற்றிட பூச்சு
வெற்றிட பூச்சு அடிப்படையில் மூன்று செயல்முறைகளாக பிரிக்கலாம்: "திரைப்பட பொருள் ஆவியாதல்", "வெற்றிட போக்குவரத்து" மற்றும் "மெல்லிய பட வளர்ச்சி". வெற்றிடப் பூச்சுகளில், படப் பொருள் திடமாக இருந்தால், திடப் படப் பொருளை வாயுவாக ஆவியாக்க அல்லது பதங்கமாக்க நடவடிக்கைகள் எடுக்கப்பட வேண்டும், பின்னர் ஆவியாக்கப்பட்ட படப் பொருள் துகள்கள் வெற்றிடத்தில் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. போக்குவரத்துச் செயல்பாட்டின் போது, துகள்கள் மோதல்களை அனுபவிக்காமல் நேரடியாக அடி மூலக்கூறை அடையலாம் அல்லது அவை விண்வெளியில் மோதிக்கொண்டு சிதறிய பின் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை அடையலாம். இறுதியாக, துகள்கள் அடி மூலக்கூறில் ஒடுங்கி ஒரு மெல்லிய படமாக வளரும். எனவே, பூச்சு செயல்முறையானது படப் பொருளின் ஆவியாதல் அல்லது பதங்கமாதல், வெற்றிடத்தில் வாயு அணுக்களின் போக்குவரத்து மற்றும் திடமான மேற்பரப்பில் வாயு அணுக்களின் உறிஞ்சுதல், பரவல், அணுக்கரு மற்றும் சிதைவு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது.
வெற்றிட பூச்சு வகைப்பாடு
ஃபிலிம் பொருள் திடப்பொருளில் இருந்து வாயுவாக மாறுவதற்கான வெவ்வேறு வழிகள் மற்றும் வெற்றிடத்தில் உள்ள படப் பொருள் அணுக்களின் வெவ்வேறு போக்குவரத்து செயல்முறைகளின் படி, வெற்றிட பூச்சு அடிப்படையில் நான்கு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படலாம்: வெற்றிட ஆவியாதல், வெற்றிடத் தூறல், வெற்றிட அயனி முலாம், மற்றும் வெற்றிட இரசாயன நீராவி படிவு. முதல் மூன்று முறைகள் அழைக்கப்படுகின்றனஉடல் நீராவி படிவு (PVD), மற்றும் பிந்தையது அழைக்கப்படுகிறதுஇரசாயன நீராவி படிவு (CVD).
வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு
வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு என்பது பழமையான வெற்றிட பூச்சு தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்றாகும். 1887 ஆம் ஆண்டில், ஆர். நஹ்ர்வோல்ட் வெற்றிடத்தில் பிளாட்டினத்தை பதங்கமாக்கி பிளாட்டினம் பிலிம் தயாரிப்பதை அறிவித்தார், இது ஆவியாதல் பூச்சுகளின் தோற்றமாக கருதப்படுகிறது. இப்போது ஆவியாதல் பூச்சு ஆரம்ப எதிர்ப்பு ஆவியாதல் பூச்சிலிருந்து எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் பூச்சு, தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் பூச்சு மற்றும் துடிப்பு லேசர் ஆவியாதல் பூச்சு போன்ற பல்வேறு தொழில்நுட்பங்களுக்கு வளர்ந்துள்ளது.
எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல்வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு
எதிர்ப்பு ஆவியாதல் மூலமானது நேரடியாகவோ அல்லது மறைமுகமாகவோ திரைப்படப் பொருளை வெப்பப்படுத்த மின் ஆற்றலைப் பயன்படுத்தும் ஒரு சாதனமாகும். எதிர்ப்பு ஆவியாதல் மூலமானது பொதுவாக உலோகங்கள், ஆக்சைடுகள் அல்லது நைட்ரைடுகளால் ஆனது, அதிக உருகுநிலை, குறைந்த நீராவி அழுத்தம், நல்ல இரசாயன மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மை, டங்ஸ்டன், மாலிப்டினம், டான்டலம், உயர் தூய்மை கிராஃபைட், அலுமினிய ஆக்சைடு மட்பாண்டங்கள், போரான் நைட்ரைடு மற்றும் பிற பீங்கான் பொருட்கள் . எதிர்ப்பு ஆவியாதல் மூலங்களின் வடிவங்களில் முக்கியமாக இழை மூலங்கள், படல மூலங்கள் மற்றும் சிலுவைகள் ஆகியவை அடங்கும்.
இழை மூலங்கள் மற்றும் படல மூலங்களைப் பயன்படுத்தும் போது, ஆவியாதல் மூலத்தின் இரு முனைகளை முனைய இடுகைகளில் கொட்டைகள் மூலம் சரிசெய்யவும். க்ரூசிபிள் வழக்கமாக ஒரு சுழல் கம்பியில் வைக்கப்படுகிறது, மேலும் சுழல் கம்பி க்ரூசிபிளை வெப்பப்படுத்த இயக்கப்படுகிறது, பின்னர் க்ரூசிபிள் வெப்பத்தை படப் பொருளுக்கு மாற்றுகிறது.
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீன உற்பத்தியாளர்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்மற்றும்மற்ற செமிகண்டக்டர் செராமிக்ஸ்.VeTek செமிகண்டக்டர், குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கான பல்வேறு பூச்சு தயாரிப்புகளுக்கு மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.
உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
கும்பல்/WhatsAPP: +86-180 6922 0752
மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com