இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) பூச்சு (2/2) கோட்பாடுகள் மற்றும் தொழில்நுட்பம் - VeTek செமிகண்டக்டர்

எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் பூச்சு

எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கலின் சில குறைபாடுகள், எதிர்ப்பு ஆவியாதல் மூலத்தால் வழங்கப்படும் குறைந்த ஆற்றல் அடர்த்தி, ஆவியாதல் மூலத்தின் சில ஆவியாதல், படத் தூய்மையைப் பாதிக்கிறது, முதலியன, புதிய ஆவியாதல் மூலங்கள் உருவாக்கப்பட வேண்டும். எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் பூச்சு என்பது ஒரு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும், இது ஆவியாதல் பொருளை நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட க்ரூசிபிளில் வைத்து, நேரடியாக எலக்ட்ரான் கற்றையைப் பயன்படுத்தி பிலிம் பொருளை சூடாக்குகிறது, மேலும் படப் பொருளை ஆவியாக்கி அடி மூலக்கூறில் ஒடுக்கி ஒரு படத்தை உருவாக்குகிறது. எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலத்தை 6000 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பப்படுத்தலாம், இது கிட்டத்தட்ட அனைத்து பொதுவான பொருட்களையும் உருகச் செய்யும், மேலும் உலோகங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிளாஸ்டிக் போன்ற அடி மூலக்கூறுகளில் மெல்லிய படலங்களை அதிக வேகத்தில் வைக்கலாம்.

லேசர் துடிப்பு படிவு

துடிப்புள்ள லேசர் படிவு (PLD)இலக்குப் பொருளைக் கதிரியக்கப்படுத்துவதற்கு அதிக ஆற்றல் கொண்ட துடிப்புள்ள லேசர் கற்றையைப் பயன்படுத்தும் ஒரு திரைப்படம் உருவாக்கும் முறையாகும். மற்றும் ஆவியாகிறது, அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகிறது.

மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி

மாலிகுலர் பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) என்பது ஒரு மெல்லிய பட தயாரிப்பு தொழில்நுட்பமாகும், இது எபிடாக்சியல் படத்தின் தடிமன், மெல்லிய படலத்தின் டோப்பிங் மற்றும் அணு அளவில் இடைமுகம் தட்டையானது ஆகியவற்றை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும். அல்ட்ரா-மெல்லிய படங்கள், பல அடுக்கு குவாண்டம் கிணறுகள் மற்றும் சூப்பர்லட்டீஸ்கள் போன்ற குறைக்கடத்திகளுக்கு உயர்-துல்லியமான மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிக்க இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. புதிய தலைமுறை மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களுக்கான முக்கிய தயாரிப்பு தொழில்நுட்பங்களில் இதுவும் ஒன்றாகும்.

மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு பூச்சு முறையாகும், இது படிகத்தின் கூறுகளை வெவ்வேறு ஆவியாதல் மூலங்களில் வைக்கிறது, 1e-8Pa ​​இன் அதி-உயர் வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ் படப் பொருளை மெதுவாக வெப்பப்படுத்துகிறது, ஒரு மூலக்கூறு கற்றை ஓட்டத்தை உருவாக்குகிறது, மேலும் அதை அடி மூலக்கூறு மீது தெளிக்கிறது. வெப்ப இயக்க வேகம் மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தில், அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் மெல்லிய படலங்களை வளர்த்து, ஆன்லைன் வளர்ச்சி செயல்முறையை கண்காணிக்கிறது.

சாராம்சத்தில், இது ஒரு வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு ஆகும், இதில் மூன்று செயல்முறைகள் அடங்கும்: மூலக்கூறு கற்றை உருவாக்கம், மூலக்கூறு கற்றை போக்குவரத்து மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை படிவு. மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி உபகரணங்களின் திட்ட வரைபடம் மேலே காட்டப்பட்டுள்ளது. இலக்கு பொருள் ஆவியாதல் மூலத்தில் வைக்கப்படுகிறது. ஒவ்வொரு ஆவியாதல் மூலத்திற்கும் ஒரு தடை உள்ளது. ஆவியாதல் மூலமானது அடி மூலக்கூறுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. அடி மூலக்கூறு வெப்ப வெப்பநிலை சரிசெய்யக்கூடியது. கூடுதலாக, மெல்லிய படத்தின் படிக அமைப்பை ஆன்லைனில் கண்காணிக்க ஒரு கண்காணிப்பு சாதனம் உள்ளது.

வெற்றிட ஸ்பட்டரிங் பூச்சு

திடமான மேற்பரப்பு ஆற்றல்மிக்க துகள்களால் தாக்கப்படும்போது, ​​திடமான மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்கள் ஆற்றல்மிக்க துகள்களுடன் மோதுகின்றன, மேலும் போதுமான ஆற்றலையும் வேகத்தையும் பெற்று மேற்பரப்பில் இருந்து தப்பிக்க முடியும். இந்த நிகழ்வு sputtering என்று அழைக்கப்படுகிறது. ஸ்பட்டரிங் கோட்டிங் என்பது ஒரு பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும், இது திடமான இலக்குகளை ஆற்றல்மிக்க துகள்கள் மூலம் தாக்கி, இலக்கு அணுக்களைத் துடைத்து, மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வைப்பது.

கேத்தோடு இலக்கு மேற்பரப்பில் ஒரு காந்தப்புலத்தை அறிமுகப்படுத்துவது, எலக்ட்ரான்களைக் கட்டுப்படுத்தவும், எலக்ட்ரான் பாதையை நீட்டிக்கவும், ஆர்கான் அணுக்களின் அயனியாக்கத்தின் நிகழ்தகவை அதிகரிக்கவும் மற்றும் குறைந்த அழுத்தத்தின் கீழ் நிலையான வெளியேற்றத்தை அடையவும் மின்காந்த புலத்தைப் பயன்படுத்தலாம். இந்த கோட்பாட்டின் அடிப்படையில் பூச்சு முறை மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

கொள்கை வரைபடம்டிசி மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்மேலே காட்டப்பட்டுள்ளபடி உள்ளது. வெற்றிட அறையின் முக்கிய கூறுகள் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஆகும். அடி மூலக்கூறும் இலக்கும் ஒன்றையொன்று எதிர்கொள்ளும், அடி மூலக்கூறு அடித்தளமாக உள்ளது, மேலும் இலக்கு எதிர்மறை மின்னழுத்தத்துடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, அதாவது, அடி மூலக்கூறு இலக்குடன் ஒப்பிடும்போது நேர்மறை ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது, எனவே மின்சார புலத்தின் திசை அடி மூலக்கூறிலிருந்து வருகிறது. இலக்கை நோக்கி. காந்தப்புலத்தை உருவாக்கப் பயன்படும் நிரந்தர காந்தம் இலக்கின் பின்புறத்தில் அமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் நிரந்தர காந்தத்தின் N துருவத்திலிருந்து S துருவத்திற்கு விசைப் புள்ளியின் காந்தக் கோடுகள் அமைக்கப்பட்டு, கேத்தோடு இலக்கு மேற்பரப்புடன் மூடிய இடத்தை உருவாக்குகின்றன. 

இலக்கு மற்றும் காந்தம் குளிர்ந்த நீரால் குளிர்விக்கப்படுகிறது. வெற்றிட அறை 1e-3Pa க்கும் குறைவாக வெளியேற்றப்படும் போது, ​​Ar வெற்றிட அறைக்குள் 0.1 முதல் 1Pa வரை நிரப்பப்படுகிறது, பின்னர் நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை துருவங்களுக்கு மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்பட்டு வாயு பளபளப்பான வெளியேற்றத்தை உருவாக்கி பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. ஆர்கான் பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஆர்கான் அயனிகள் மின்புல விசையின் செயல்பாட்டின் கீழ் கேத்தோடு இலக்கை நோக்கி நகரும், கேத்தோடு இருண்ட பகுதி வழியாக செல்லும் போது துரிதப்படுத்தப்பட்டு, இலக்கை குண்டுவீசி தாக்கி, இலக்கு அணுக்கள் மற்றும் இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான்களை வெளியேற்றும்.

DC ஸ்பட்டரிங் பூச்சு செயல்பாட்டில், ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன், மீத்தேன் அல்லது ஹைட்ரஜன் சல்பைட், ஹைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு போன்ற சில வினைத்திறன் வாயுக்கள் அடிக்கடி அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த எதிர்வினை வாயுக்கள் ஆர்கான் பிளாஸ்மாவில் சேர்க்கப்பட்டு உற்சாகமாக, அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன அல்லது Ar உடன் அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. அணுக்கள் பல்வேறு செயலில் உள்ள குழுக்களை உருவாக்குகின்றன. இந்த செயல்படுத்தப்பட்ட குழுக்கள் இலக்கு அணுக்களுடன் சேர்ந்து அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை அடைந்து, இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகின்றன, மேலும் ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள் போன்ற தொடர்புடைய கலவைப் படலங்களை உருவாக்குகின்றன.

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீன உற்பத்தியாளர்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்மற்றும்மற்ற செமிகண்டக்டர் செராமிக்ஸ். VeTek செமிகண்டக்டர், குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கான பல்வேறு பூச்சு தயாரிப்புகளுக்கு மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.

உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

கும்பல்/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com