எபி வேஃபர் ஹோல்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை எபி வேஃபர் ஹோல்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் தொழிற்சாலை. எபி வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கான ஒரு வேஃபர் ஹோல்டர் ஆகும். செதில்களை நிலைப்படுத்தவும், எபிடாக்சியல் லேயரின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்யவும் இது ஒரு முக்கிய கருவியாகும். இது MOCVD மற்றும் LPCVD போன்ற எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் ஈடுசெய்ய முடியாத சாதனம். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எபி வேஃபர் ஹோல்டரின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையானது எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் போது செதில்களை வைத்திருப்பதை உறுதி செய்வதாகும்.செதில்ஒரு துல்லியமான வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்ட சூழலில் உள்ளது, இதனால் எபிடாக்சியல் பொருள் செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக வைக்கப்படும். அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ், இந்த தயாரிப்பு செதில்களின் மேற்பரப்பில் கீறல்கள் மற்றும் துகள் மாசுபாடு போன்ற சிக்கல்களைத் தவிர்க்கும் அதே வேளையில் எதிர்வினை அறையில் உள்ள செதில்களை உறுதியாக சரிசெய்ய முடியும்.

எபி வேஃபர் ஹோல்டர் பொதுவாக தயாரிக்கப்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC). SiC குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சுமார் 4.0 x 10^ ஆகும்^-6/°C, அதிக வெப்பநிலையில் வைத்திருப்பவரின் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும், வெப்ப விரிவாக்கத்தால் ஏற்படும் செதில் அழுத்தத்தைத் தவிர்க்கவும் உதவுகிறது. அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (1,200°C~1,600°C அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன்), அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் (வெப்ப கடத்துத்திறன் பொதுவாக 120-160 W/mK) ஆகியவற்றுடன் இணைந்து, SiC என்பது எபிடாக்சியல் செதில் வைத்திருப்பவர்களுக்கு ஏற்ற பொருள். .

எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் எபி வேஃபர் ஹோல்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயு சூழலில் நிலையான கேரியரை வழங்குவதே இதன் முக்கிய செயல்பாடு ஆகும்.எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்யும் போது.குறிப்பாக பின்வருமாறு:

செதில் பொருத்துதல் மற்றும் துல்லியமான சீரமைப்பு: உயர்-துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட எபி வேஃபர் ஹோல்டர், செதில் மேற்பரப்பு எதிர்வினை வாயு ஓட்டத்துடன் சிறந்த தொடர்பு கோணத்தை உருவாக்குவதை உறுதிசெய்ய, எதிர்வினை அறையின் வடிவியல் மையத்தில் செதில்களை உறுதியாகச் சரிசெய்கிறது. இந்த துல்லியமான சீரமைப்பு எபிடாக்சியல் லேயர் படிவுகளின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வது மட்டுமல்லாமல், செதில் நிலை விலகலால் ஏற்படும் அழுத்த செறிவை திறம்பட குறைக்கிறது.

சீரான வெப்பம் மற்றும் வெப்ப புல கட்டுப்பாடு: சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொருளின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (வெப்ப கடத்துத்திறன் பொதுவாக 120-160 W/mK) உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் சூழல்களில் செதில்களுக்கு திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை வழங்குகிறது. அதே நேரத்தில், வெப்ப அமைப்பின் வெப்பநிலை விநியோகம் முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்ய நன்றாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. இது அதிகப்படியான வெப்பநிலை சாய்வுகளால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தத்தை திறம்பட தவிர்க்கிறது, இதன் மூலம் செதில் சிதைவு மற்றும் விரிசல் போன்ற குறைபாடுகளின் நிகழ்தகவை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

துகள் மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் பொருள் தூய்மைஉயர்-தூய்மை SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் CVD- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்களின் பயன்பாடு எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது துகள்களின் உருவாக்கம் மற்றும் பரவலை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. இந்த உயர்-தூய்மை பொருட்கள் எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சிக்கு சுத்தமான சூழலை வழங்குவதோடு மட்டுமல்லாமல், இடைமுக குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் உதவுகிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்களை (அம்மோனியா, ட்ரைமெதில் காலியம் போன்றவை) தாங்குபவர் தாங்கிக்கொள்ள வேண்டும்.MOCVDஅல்லது LPCVD செயல்முறைகள், எனவே SiC பொருட்களின் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு அடைப்புக்குறியின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கவும், உற்பத்தி செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும் உதவுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை ஆதரிக்கிறது, எனவே எபி வேஃபர் ஹோல்டர் செதில் அளவு (100 மிமீ, 150 மிமீ, 200 மிமீ, 300 மிமீ, முதலியன) அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை உங்களுக்கு வழங்க முடியும். சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்போம் என்று நாங்கள் உண்மையாக நம்புகிறோம்.

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் கட்டமைப்பின் SEM தரவு:

SEM DATA OF CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்：

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர் எபி வேஃபர் ஹோல்டர் தயாரிப்பு கடைகள்:

VeTek Semiconductor Epi wafer holder Production shops

சூடான குறிச்சொற்கள்: எபி வேஃபர் ஹோல்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை