VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட் தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். SiC ஷவர் ஹெட் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, இரசாயன நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நல்ல வாயு விநியோக செயல்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது சீரான எரிவாயு விநியோகத்தை அடையலாம் மற்றும் படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தலாம். எனவே, இது பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது உடல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட் முக்கியமாக SiC யால் ஆனது. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட்டின் முக்கிய செயல்பாடு, வினையின் போது ஒரு சீரான படலத்தை உருவாக்குவதை உறுதி செய்வதற்காக எதிர்வினை வாயுவை சமமாக விநியோகிப்பதாகும்.இரசாயன நீராவி படிவு (CVD)அல்லதுஉடல் நீராவி படிவு (PVD) processes. Due to the excellent properties of SiC such as high thermal conductivity and chemical stability, SiC Shower Head can work efficiently at high temperatures, reduce the unevenness of gas flow during the படிவு செயல்முறை, இதனால் பட அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட் ஒரே துளையுடன் கூடிய பல முனைகள் மூலம் எதிர்வினை வாயுவை சமமாக விநியோகிக்கவும், சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதி செய்யவும், அதிக அல்லது மிகக் குறைந்த உள்ளூர் செறிவுகளைத் தவிர்க்கவும், இதனால் படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தவும் முடியும். சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையுடன் இணைந்துCVD SiC, எந்த துகள்கள் அல்லது அசுத்தங்கள் போது வெளியிடப்பட்டதுபடம் படிவு செயல்முறை, இது படத்தின் படிவுத் தூய்மையைப் பேணுவதற்கு முக்கியமானது.
கூடுதலாக, CVD SiC ஷவர் ஹெட்டின் மற்றொரு முக்கிய நன்மை வெப்ப சிதைவுக்கு அதன் எதிர்ப்பாகும். இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் கூட இந்த கூறு உடல் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும் என்பதை இந்த அம்சம் உறுதி செய்கிறது. ஸ்திரத்தன்மை தவறான சீரமைப்பு அல்லது இயந்திர செயலிழப்பு அபாயத்தை குறைக்கிறது, இதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்துகிறது.
சீனாவின் முன்னணி சிலிக்கான் கார்பைட் ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். VeTek செமிகண்டக்டர் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட்டின் மிகப்பெரிய நன்மை தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்கும் திறன் ஆகும். எங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை நன்மை மேற்பரப்பு பூச்சுக்கான வெவ்வேறு வாடிக்கையாளர்களின் வெவ்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும். குறிப்பாக, உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது முதிர்ந்த செயலாக்கம் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பங்களின் சுத்திகரிக்கப்பட்ட தனிப்பயனாக்கலை இது ஆதரிக்கிறது.
கூடுதலாக, VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட்டின் துளை உட்புறச் சுவர் எஞ்சியிருக்கும் சேதம் அடுக்கு இல்லை என்பதை உறுதிசெய்ய கவனமாகச் சிகிச்சை அளிக்கப்பட்டு, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. கூடுதலாக, எங்கள் CVD SiC ஷவர் ஹெட் குறைந்தபட்சம் 0.2 மிமீ துளையை அடைய முடியும், இதன் மூலம் சிறந்த எரிவாயு விநியோக துல்லியத்தை அடைகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது உகந்த வாயு ஓட்டம் மற்றும் மெல்லிய பட படிவு விளைவுகளை பராமரிக்கிறது.
SEM தரவுCVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு:
CVD இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் SiC பூச்சு:
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் |
|
சொத்து |
வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி |
3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை |
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு |
2~10μm |
இரசாயன தூய்மை |
99.99995% |
வெப்ப திறன் |
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை |
415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
300W·m-1·கே-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) |
4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட் கடைகள்: