VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் ஒரு முன்னணி சாலிட் SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.VeTek செமிகண்டக்டர் சாலிட் SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட்டின் பல-போரோசிட்டி வடிவமைப்பு, CVD செயல்பாட்டில் உருவாகும் வெப்பத்தை சிதறடிப்பதை உறுதி செய்கிறது. , அடி மூலக்கூறு சமமாக சூடாக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. சீனாவில் உங்களுடன் நீண்ட காலத்தை அமைக்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது ஆராய்ச்சி, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனைக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஒரு ஒருங்கிணைந்த நிறுவனமாகும். 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான அனுபவத்துடன், எங்கள் குழு SiC, TaC பூச்சுகள் மற்றும் CVD Solid SiC ஆகியவற்றில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்களிடமிருந்து Solid SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட் வாங்க வரவேற்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் சாலிட் SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட் பொதுவாக குறைக்கடத்தி CVD செயல்முறைகளின் போது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் முன்னோடி வாயுக்களை சமமாக விநியோகிக்கப் பயன்படுகிறது. ஷவர் ஹெட்களுக்கு CVD-SiC பொருளைப் பயன்படுத்துவது பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் CVD செயல்பாட்டில் உருவாகும் வெப்பத்தை வெளியேற்ற உதவுகிறது, அடி மூலக்கூறில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, CVD sic ஷவர் ஹெட்டின் இரசாயன நிலைத்தன்மையானது, CVD செயல்முறைகளில் பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான சூழல்களைத் தாங்குவதற்கு உதவுகிறது.
CVD SiC ஷவர் ஹெட்களின் வடிவமைப்பு குறிப்பிட்ட CVD அமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்படலாம். இருப்பினும், அவை பொதுவாக துல்லியமாக துளையிடப்பட்ட துளைகள் அல்லது ஸ்லாட்டுகளுடன் கூடிய தட்டு அல்லது வட்டு வடிவ கூறுகளைக் கொண்டிருக்கும். அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான வாயு விநியோகம் மற்றும் ஓட்டம் வேகத்தை உறுதிப்படுத்த துளை வடிவமும் வடிவவியலும் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
திட SiC இன் இயற்பியல் பண்புகள் | |||
அடர்த்தி | 3.21 | g/cm3 | |
மின்சார எதிர்ப்பு | 102 | Ω/செ.மீ | |
நெகிழ்வு வலிமை | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/கே | |
வெப்ப கடத்துத்திறன்(RT) | 250 | W/mK |