VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறை சாலிட் SiC எட்ஜ் ரிங் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக குறைக்கடத்தி பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.VeTek செமிகண்டக்டர் திட SiC விளிம்பு வளையமானது ஒரு மின்னியல் சக்குடன் பயன்படுத்தும் போது மேம்படுத்தப்பட்ட பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியமான செதில் பொருத்துதல் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. , சீரான மற்றும் நம்பகமான செதுக்குதல் முடிவுகளை உறுதி செய்தல். சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் கெமிக்கல் நீராவி படிவு செயல்முறை திட SiC எட்ஜ் ரிங் என்பது உலர் எட்ச் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன தீர்வாகும், இது சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது. உங்களுக்கு உயர்தர இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறை திட SiC எட்ஜ் வளையத்தை வழங்க விரும்புகிறோம்.
இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறை திட SiC எட்ஜ் ரிங் என்பது உலர் எட்ச் பயன்பாடுகளில் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை மேம்படுத்தவும், பொறித்தல் முடிவுகளை மேம்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது பிளாஸ்மா ஆற்றலை இயக்குவதிலும் கட்டுப்படுத்துவதிலும், துல்லியமான மற்றும் சீரான பொருட்களை அகற்றுவதை உறுதி செய்வதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எங்கள் ஃபோகசிங் ரிங் பரந்த அளவிலான உலர் எட்ச் அமைப்புகளுடன் இணக்கமானது மற்றும் தொழில்கள் முழுவதும் பல்வேறு செதுக்கல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறை திட SiC விளிம்பு வளையம்:
பொருள்: கவனம் செலுத்தும் வளையம் திடமான SiC இலிருந்து புனையப்பட்டது, இது உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருளாகும். இது உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் அல்லது கச்சிதமான SiC பொடிகள் போன்ற முறைகளைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறது. திடமான SiC பொருள் விதிவிலக்கான ஆயுள், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகளை வழங்குகிறது.
நன்மைகள்: திடமான SiC ஃபோகசிங் ரிங் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, உலர் எட்ச் செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் உயர்-வெப்பநிலை நிலைகளிலும் கூட அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. அதன் உயர் கடினத்தன்மை இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் உடைகளுக்கு எதிர்ப்பை உறுதி செய்கிறது, இது நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு வழிவகுக்கிறது. மேலும், திடமான SiC இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, அதை அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கிறது மற்றும் காலப்போக்கில் அதன் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது.
CVD SiC பூச்சு:
பொருள்: CVD SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி SiC இன் மெல்லிய பட படிவு ஆகும். மேற்பரப்பிற்கு SiC பண்புகளை வழங்க, கிராஃபைட் அல்லது சிலிக்கான் போன்ற அடி மூலக்கூறு பொருளின் மீது பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஒப்பீடு: CVD SiC பூச்சுகள் சில நன்மைகளை வழங்குகின்றன, அதாவது சிக்கலான வடிவங்கள் மற்றும் டியூன் செய்யக்கூடிய பட பண்புகள் போன்றவற்றில், அவை திடமான SiC இன் வலிமை மற்றும் செயல்திறனுடன் பொருந்தாமல் இருக்கலாம். பூச்சு தடிமன், படிக அமைப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை ஆகியவை CVD செயல்முறை அளவுருக்களின் அடிப்படையில் மாறுபடும், இது பூச்சுகளின் ஆயுள் மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை பாதிக்கும்.
சுருக்கமாக, VeTek செமிகண்டக்டர் திட SiC கவனம் செலுத்தும் வளையம் உலர் எட்ச் பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு விதிவிலக்கான தேர்வாகும். அதன் திடமான SiC பொருள் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை உறுதிசெய்கிறது, இது நம்பகமான மற்றும் நீண்ட கால தீர்வாக அமைகிறது. CVD SiC பூச்சுகள் படிவத்தில் நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்கும் அதே வேளையில், திடமான SiC ஃபோகசிங் வளையமானது, உலர் எட்ச் செயல்முறைகளைக் கோருவதற்குத் தேவையான ஒப்பற்ற ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனை வழங்குவதில் சிறந்து விளங்குகிறது.
திட SiC இன் இயற்பியல் பண்புகள் | |||
அடர்த்தி | 3.21 | g/cm3 | |
மின்சார எதிர்ப்பு | 102 | Ω/செ.மீ | |
நெகிழ்வு வலிமை | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/கே | |
வெப்ப கடத்துத்திறன்(RT) | 250 | W/mK |