SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பம்

Vetek செமிகண்டக்டரின் அதி-உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் உருவானது, உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு ஒரு மூலப் பொருளாகப் பயன்படுத்தலாம். SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் புதிய தொழில்நுட்பத்தில், மூலப் பொருள் ஒரு சிலுவைக்குள் ஏற்றப்பட்டு விதை படிகத்தின் மீது பதங்கமாக்கப்பட்டிருக்கிறது. SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான ஆதாரமாக பொருட்களை மறுசுழற்சி செய்ய நிராகரிக்கப்பட்ட CVD-SiC தொகுதிகளைப் பயன்படுத்தவும். எங்களுடன் கூட்டுறவை ஏற்படுத்த வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர்' SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பமானது, SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான மூலப்பொருளாக மறுசுழற்சி செய்ய நிராகரிக்கப்பட்ட CVD-SiC தொகுதிகளைப் பயன்படுத்துகிறது. ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் CVD-SiC ப்ளூக், அளவு-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உடைந்த தொகுதிகளாகத் தயாரிக்கப்படுகின்றன, அவை PVT செயல்பாட்டில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வணிக SiC தூளுடன் ஒப்பிடும்போது வடிவம் மற்றும் அளவுகளில் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, எனவே SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் நடத்தை எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. குறிப்பிடத்தக்க வித்தியாசமான நடத்தை காட்ட. SiC சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி பரிசோதனை மேற்கொள்ளப்படுவதற்கு முன்பு, அதிக வளர்ச்சி விகிதங்களைப் பெற கணினி உருவகப்படுத்துதல்கள் செய்யப்பட்டன, மேலும் ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்கு ஏற்ப வெப்ப மண்டலம் கட்டமைக்கப்பட்டது. படிக வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, வளர்ந்த படிகங்கள் குறுக்குவெட்டு டோமோகிராபி, மைக்ரோ-ராமன் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி, உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட எக்ஸ்ரே டிஃப்ராஃப்ரக்ஷன் மற்றும் சின்க்ரோட்ரான் ரேடியேஷன் வைட்-பீம் எக்ஸ்-ரே டோபோகிராபி மூலம் மதிப்பிடப்பட்டன.

உற்பத்தி மற்றும் தயாரிப்பு செயல்முறை:

1. CVD-SiC தொகுதி மூலத்தைத் தயாரிக்கவும்: முதலில், நாம் உயர்தர CVD-SiC தொகுதி மூலத்தைத் தயாரிக்க வேண்டும், இது பொதுவாக அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தி கொண்டது. பொருத்தமான எதிர்வினை நிலைமைகளின் கீழ் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறை மூலம் இதைத் தயாரிக்கலாம்.

2. அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு: SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான அடி மூலக்கூறாக பொருத்தமான அடி மூலக்கூறைத் தேர்ந்தெடுக்கவும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அடி மூலக்கூறு பொருட்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்றவை அடங்கும், இவை வளர்ந்து வரும் SiC ஒற்றைப் படிகத்துடன் நன்றாகப் பொருந்துகின்றன.

3. சூடாக்குதல் மற்றும் பதங்கமாதல்: CVD-SiC தொகுதி மூலத்தையும் அடி மூலக்கூறையும் உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் வைக்கவும் மற்றும் பொருத்தமான பதங்கமாதல் நிலைமைகளை வழங்கவும். பதங்கமாதல் என்பது அதிக வெப்பநிலையில், தொகுதி மூலமானது திடத்திலிருந்து நீராவி நிலைக்கு நேரடியாக மாறுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மீண்டும் ஒடுங்கி ஒரு படிகத்தை உருவாக்குகிறது.

4. வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: பதங்கமாதல் செயல்முறையின் போது, தொகுதி மூலத்தின் பதங்கமாதல் மற்றும் ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்க வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகம் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். பொருத்தமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு சிறந்த படிக தரம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதத்தை அடைய முடியும்.

5. வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு: பதங்கமாதல் செயல்முறையின் போது, எதிர்வினை வளிமண்டலமும் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். உயர்-தூய்மை மந்த வாயு (ஆர்கான் போன்றவை) பொதுவாக பொருத்தமான அழுத்தம் மற்றும் தூய்மையைப் பராமரிக்கவும் அசுத்தங்களால் மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும் கேரியர் வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

6. ஒற்றை படிக வளர்ச்சி: CVD-SiC தொகுதி மூலமானது பதங்கமாதல் செயல்முறையின் போது ஒரு நீராவி கட்ட மாற்றத்திற்கு உட்படுகிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மீண்டும் ஒரு படிக அமைப்பை உருவாக்குகிறது. பொருத்தமான பதங்கமாதல் நிலைமைகள் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வு கட்டுப்பாடு மூலம் SiC ஒற்றை படிகங்களின் விரைவான வளர்ச்சியை அடைய முடியும்.

விவரக்குறிப்புகள்:

அளவு	பகுதி எண்	விவரங்கள்
தரநிலை	VT-9	துகள் அளவு (0.5-12 மிமீ)
சிறிய	VT-1	துகள் அளவு (0.2-1.2 மிமீ)
நடுத்தர	VT-5	துகள் அளவு (1 -5 மிமீ)

நைட்ரஜனைத் தவிர்த்து தூய்மை: 99.9999% (6N) ஐ விட சிறந்தது.

தூய்மையற்ற நிலைகள் (பளபளப்பான வெளியேற்ற மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி மூலம்)

உறுப்பு	தூய்மை
பி, ஏஐ, பி	<1 பிபிஎம்
மொத்த உலோகங்கள்	<1 பிபிஎம்

SiC பூச்சு உற்பத்தியாளர் பட்டறை:

தொழில்துறை சங்கிலி:

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பம், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை