VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் முன்னணி CVD SiC ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC மெட்டீரியலில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். CVD SiC ஷவர் ஹெட் அதன் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் நிலைத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனம் செலுத்தும் வளையப் பொருளாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. பிளாஸ்மா அரிப்பு
எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து CVD SiC ஷவர் ஹெட் வாங்க நீங்கள் உறுதியாக இருக்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டர் CVD SiC ஷவர் ஹெட், மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி திட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC) தயாரிக்கப்படுகிறது. SiC அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றிற்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது, CVD SiC ஷவர் ஹெட் போன்ற பெரிய அளவிலான SiC கூறுகளுக்கு ஏற்றது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, CVD SiC ஷவர் ஹெட் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா செயலாக்கத்தைத் தாங்கும். அதன் துல்லியமான வாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு மற்றும் உயர்ந்த பொருள் பண்புகள் நிலையான செயல்முறைகள் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. CVD SiC இன் பயன்பாடு வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, குறைக்கடத்தி தயாரிப்பு தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
CVD SiC ஷவர் ஹெட் செயல்முறை வாயுக்களை சீராக விநியோகிப்பதன் மூலமும் அறையை மாசுபடாமல் பாதுகாப்பதன் மூலமும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. இது வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மை போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சவால்களை திறம்பட தீர்க்கிறது, வாடிக்கையாளர்களுக்கு நம்பகமான தீர்வுகளை வழங்குகிறது.
MOCVD அமைப்புகள், Si epitaxy மற்றும் SiC epitaxy ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படும், CVD SiC ஷவர் ஹெட் உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது. அதன் முக்கிய பங்கு துல்லியமான செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, உயர் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகமான தயாரிப்புகளுக்கான பல்வேறு வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.
திட SiC இன் இயற்பியல் பண்புகள் | |||
அடர்த்தி | 3.21 | g/cm3 | |
மின்சார எதிர்ப்பு | 102 | Ω/செ.மீ | |
நெகிழ்வு வலிமை | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/கே | |
வெப்ப கடத்துத்திறன்(RT) | 250 | W/mK |