VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர், கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் சீனாவில் CVD SiC பூச்சு மற்றும் TAC பூச்சுகளின் தலைவர். பல ஆண்டுகளாக, CVD SiC பூசப்பட்ட ஸ்கர்ட், CVD SiC கோட்டிங் ரிங், CVD SiC கோட்டிங் கேரியர் போன்ற பல்வேறு CVD SiC பூச்சு தயாரிப்புகளில் நாங்கள் கவனம் செலுத்தி வருகிறோம். VeTek செமிகண்டக்டர் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகள் மற்றும் திருப்திகரமான தயாரிப்பு விலைகளை ஆதரிக்கிறது, மேலும் உங்களின் மேலும் எதிர்பார்ப்புகளை எதிர்பார்க்கிறது ஆலோசனை.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புமுன்னணி சீன செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் தலைவராக, VeTek செமிகண்டக்டர் பல ஆண்டுகளாக UV LED Epi Susceptor, Deep-UV LED Epitaxial Susceptor, SiC கோட்டிங் சஸ்செப்டர், MOCVD சஸ்பெக்டர் போன்ற பல்வேறு வகையான suceptor தயாரிப்புகளில் கவனம் செலுத்தி வருகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் சீனாவில் உங்கள் பங்குதாரராக ஆவதற்கு நாங்கள் உண்மையாக காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC பூச்சு தடுப்பு முக்கியமாக Si Epitaxy இல் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பொதுவாக சிலிக்கான் நீட்டிப்பு பீப்பாய்களுடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது CVD SiC பூச்சு தடையின் தனித்துவமான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் நிலைத்தன்மையை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் காற்றோட்டத்தின் சீரான விநியோகத்தை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. எங்கள் தயாரிப்புகள் உங்களுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளைக் கொண்டுவரும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC கிராஃபைட் சிலிண்டர் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களில் முக்கியமானது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்த அமைப்புகளில் உள் கூறுகளை பாதுகாக்க உலைகளுக்குள் ஒரு பாதுகாப்பு கவசமாக செயல்படுகிறது. இது இரசாயனங்கள் மற்றும் தீவிர வெப்பத்திற்கு எதிராக திறம்பட பாதுகாக்கிறது, உபகரணங்கள் ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாக்கிறது. விதிவிலக்கான உடைகள் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன், சவாலான சூழலில் நீண்ட ஆயுளையும் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது. இந்த அட்டைகளைப் பயன்படுத்துவது குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது, ஆயுட்காலம் நீடிக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு தேவைகள் மற்றும் சேத அபாயங்களைக் குறைக்கிறது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC பூச்சு முனைகள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களை வைப்பதற்கு LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமான கூறுகளாகும். கடுமையான செயலாக்கச் சூழல்களில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக இந்த முனைகள் பொதுவாக உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. சீரான படிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளில் வளர்க்கப்படும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதில் அவை முக்கியப் பங்கு வகிக்கின்றன. உங்களுடன் நீண்ட கால ஒத்துழைப்பை அமைப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் வழங்கும் CVD SiC பூச்சுப் பாதுகாப்பாளரானது LPE SiC எபிடாக்ஸி ஆகும், "LPE" என்பது பொதுவாக குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவுகளில் (LPCVD) குறைந்த அழுத்த எபிடாக்ஸியை (LPE) குறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், LPE என்பது ஒற்றை படிக மெல்லிய படலங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கியமான செயல்முறை தொழில்நுட்பமாகும், இது பெரும்பாலும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அல்லது பிற குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுகிறது. மேலும் கேள்விகளுக்கு எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு