SiC பூச்சு அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்கள்

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையின் எதிர்வினை அறையில், SiC பூச்சு ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்கள் வாயு ஓட்ட விநியோகம், வெப்ப புலக் கட்டுப்பாடு மற்றும் எதிர்வினை வளிமண்டல சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கான முக்கிய கூறுகளாகும். அவை பொதுவாக SiC பூச்சினால் செய்யப்படுகின்றனகிராஃபைட்,அரை நிலவு வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, எதிர்வினை அறையின் மேல் மற்றும் கீழ் கிராஃபைட் பகுதிகளில், அடி மூலக்கூறு பகுதியைச் சுற்றி அமைந்துள்ளது.

    •அப்பர் மூன் கிராஃபைட் பகுதி: எதிர்வினை அறையின் மேல் பகுதியில், வாயு நுழைவாயிலுக்கு அருகில் நிறுவப்பட்டுள்ளது, எதிர்வினை வாயுவை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை நோக்கிப் பாய்வதற்கு வழிகாட்டும் பொறுப்பு.

    •கீழ் அரை நிலவு கிராஃபைட் பகுதி: எதிர்வினை அறையின் அடிப்பகுதியில் அமைந்துள்ளது, பொதுவாக அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவருக்குக் கீழே, வாயு ஓட்டத்தின் திசையைக் கட்டுப்படுத்தவும், அடி மூலக்கூறின் அடிப்பகுதியில் வெப்பப் புலம் மற்றும் வாயு விநியோகத்தை மேம்படுத்தவும் பயன்படுகிறது.

போதுSiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை, மேல் அரை நிலவு கிராஃபைட் பகுதியானது, அடி மூலக்கூறில் வாயு ஓட்டத்தை சமமாக விநியோகிக்க வழிகாட்ட உதவுகிறது, வாயு நேரடியாக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை பாதிக்காமல் தடுக்கிறது மற்றும் உள்ளூர் அதிக வெப்பம் அல்லது காற்று ஓட்டம் கொந்தளிப்பை ஏற்படுத்துகிறது. கீழ் அரை நிலவு கிராஃபைட் பகுதி வாயுவை அடி மூலக்கூறு வழியாக சீராகப் பாய அனுமதிக்கிறது, பின்னர் வெளியேற்றப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் கொந்தளிப்பு எபிடாக்சியல் அடுக்கின் வளர்ச்சி சீரான தன்மையை பாதிக்காமல் தடுக்கிறது.

வெப்ப புல ஒழுங்குமுறையின் அடிப்படையில், SiC பூச்சு அரை மூன் கிராஃபைட் பாகங்கள் வடிவம் மற்றும் நிலை மூலம் எதிர்வினை அறையில் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க உதவுகின்றன. மேல் அரை நிலவு கிராஃபைட் பகுதியானது, அடி மூலக்கூறுக்கு மேலே உள்ள வெப்பநிலை நிலையாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய, ஹீட்டரின் கதிரியக்க வெப்பத்தை திறம்பட பிரதிபலிக்கும். குறைந்த அரை நிலவு கிராஃபைட் பகுதியும் இதேபோன்ற பங்கைக் கொண்டுள்ளது, அதிகப்படியான வெப்பநிலை வேறுபாடுகளைத் தடுக்க வெப்பக் கடத்தல் மூலம் அடி மூலக்கூறுக்கு கீழே உள்ள வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க உதவுகிறது.

SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை எதிர்க்கும் கூறுகளை உருவாக்குகிறது, எனவே VeTek செமிகண்டக்டரின் அரை நிலவு பாகங்கள் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கொண்டவை. கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, SiC எபிடாக்ஸிக்கான நமது அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்கள் பல எபிடாக்சியல் உலைகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கப்படலாம், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது. உங்கள் SiC கோட்டிங் ஹாஃப்மூன் கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு எது தேவையோ, தயவுசெய்து VeTek செமிகண்டக்டரைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

VeteksemSiC பூச்சு அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்கள் கடைகள்: