CVD SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் CVD SiC கோடட் பேரல் சஸ்செப்டரின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர். எங்களின் CVD SiC பூசப்பட்ட பேரல் சஸ்செப்டர் அதன் சிறந்த தயாரிப்பு பண்புகளுடன் செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. உங்கள் மேலதிக ஆலோசனைக்கு வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூசப்பட்ட பேரல் சஸ்செப்டர் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுஎபிடாக்சியல் செயல்முறைகள்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மற்றும் தயாரிப்பு தரம் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கான சிறந்த தேர்வாகும். இந்த SiC பூச்சு பேரல் சஸ்செப்டர் தளம் ஒரு திடமான கிராஃபைட் கட்டமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது மற்றும் துல்லியமாக SiC அடுக்குடன் பூசப்பட்டதுCVD செயல்முறை, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது கடுமையான சூழலை திறம்பட சமாளிக்க முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD SiC கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

● எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை உறுதிப்படுத்த சீரான வெப்பமாக்கல்: SiC பூச்சுகளின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் செதில்களின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, குறைபாடுகளை திறம்பட குறைக்கிறது மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

● அடித்தளத்தின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கவும்: திSiC பூச்சுசிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தளத்தின் சேவை வாழ்க்கையை திறம்பட நீட்டிக்க மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்கும்.

● உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்தவும்: பீப்பாய் வடிவமைப்பு செதில் ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

● பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கு பொருந்தும்: இந்த அடிப்படையானது பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்SiCமற்றும்GaN.

CVD SiC பூசப்பட்ட பேரல் சஸ்செப்டரின் நன்மைகள்:

●சிறந்த வெப்ப செயல்திறன்உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியத்தை உறுதி செய்கின்றன.

●அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுவின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும், அடித்தளத்தின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கும்.

●அதிக வலிமை: கிராஃபைட் அடிப்படையானது எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் ஸ்திரத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த திடமான ஆதரவை வழங்குகிறது.

●தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை: VeTek குறைக்கடத்தி வெவ்வேறு செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை வழங்க முடியும்.

CVD SIC கோட்டிங் ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் ஸ்ட்ரக்சரின் SEM தரவு:

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்பெக்டர் கடைகள்:

Graphite epitaxial substrate Semiconductor Equipment Graphite ring assembly Semiconductor process equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: CVD SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை