VEECO MOCVD ரிசீவர்

VeTek செமிகண்டக்டர்கள்VEECO MOCVDவேஃபர் சஸ்செப்டர் என்பது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது அல்ட்ராபுர் கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு. இதுSiC பூச்சுபல நன்மைகளை வழங்குகிறது, குறிப்பாக அடி மூலக்கூறுக்கு திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது. சீரான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டிற்கு அடி மூலக்கூறு முழுவதும் உகந்த வெப்ப விநியோகத்தை அடைவது அவசியம், சீரான, உயர்தர மெல்லிய-பட படிவுகளை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனம் தயாரிப்பில் முக்கியமானது.

VEECO MOCVD சஸ்பெப்டர் வடிவமைப்பின் ஒரு அடிப்படை அம்சம் கிராஃபைட் தளத்திற்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுக்கும் இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களின் (CTE) இணக்கத்தன்மை ஆகும். VeTek இன் அல்ட்ராபூர் கிராஃபைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க பண்புகள் SiC பூச்சுடன் துல்லியமாக பொருந்துகின்றன, இது உள்ளார்ந்த உயர் வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் போது வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.MOCVD செயல்முறைகள். வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் இந்த கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு இன்றியமையாதது, குறைக்கடத்தி செதில்களில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது.

வெப்ப இணக்கத்தன்மைக்கு அப்பால், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முன்னோடி இரசாயனங்களுக்கு வெளிப்படும் போது, ​​TaC பூச்சு கொண்ட MOCVD சஸ்செப்டர் வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.MOCVD செயல்முறைகள். இந்த இரசாயன எதிர்ப்பானது சஸ்பெப்டர் மற்றும் முன்னோடிகளுக்கு இடையே விரும்பத்தகாத எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை பாதுகாக்கிறது. வேதியியல் பொருந்தக்கூடிய தன்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம், மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் ஒட்டுமொத்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பதில் சசெப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

VeTek இன்MOCVD ஏற்பிதரம் மற்றும் பரிமாண துல்லியத்தின் கடுமையான தரநிலைகளை சந்திக்க துல்லியமான எந்திரத்திற்கு உட்படுகிறது. ஒவ்வொரு அலகும் 3D ஸ்கேனிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி அதன் துல்லியம் மற்றும் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகளுடன் சீரமைப்பை சரிபார்க்க முழுமையாக ஆய்வு செய்யப்படுகிறது. இந்த நுணுக்கமான தரக் கட்டுப்பாடு, அடி மூலக்கூறுகள் உறுதியாகவும் சமமாகவும் ஆதரிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இது செதில் மேற்பரப்பில் சீரான படிவுகளை அடைவதில் முக்கியமான காரணியாகும். டெபாசிஷன் சீரான தன்மை, குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் இறுதி செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

கூடுதலாக, பயன்படுத்த எளிதானது என்பது VEECO MOCVD சஸ்பெப்டர் வடிவமைப்பின் முக்கிய அம்சமாகும். அடி மூலக்கூறுகளை சிரமமின்றி ஏற்றுவதற்கும் இறக்குவதற்கும் வசதியாக சசெப்டர் சிந்தனையுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது செயல்பாட்டுத் திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இந்த பயனர் நட்பு வடிவமைப்பு உற்பத்தி செயல்முறையை துரிதப்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் கையாளுதலின் போது அடி மூலக்கூறு சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இறுதியில் ஒட்டுமொத்த மகசூலை அதிகரிக்கிறது மற்றும் செதில் குறைபாடுகளுடன் தொடர்புடைய செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

மேலும், திSiCபூசப்பட்ட MOCVD சஸ்செப்டர்வலுவான அமிலங்களுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, பொதுவாக எச்சங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற துப்புரவு நடவடிக்கைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த அமில எதிர்ப்பானது, பல துப்புரவு சுழற்சிகள் முழுவதும் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறன் பண்புகளை தக்கவைத்துக்கொள்வதை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் அதன் செயல்பாட்டு ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது. நிலையான, நீண்ட கால செயல்திறனைப் பராமரிக்கும் போது, ​​மொத்த உரிமைச் செலவுகளைக் குறைக்க இந்த ஆயுள் உதவுகிறது.

சுருக்கமாக, VeTek செமிகண்டக்டரின் VEECO MOCVD சசெப்டர் ஒரு அதிநவீன மற்றும் மேம்பட்ட கூறு ஆகும், இது சிறந்த வெப்ப திறன், இரசாயன மற்றும் வெப்ப இணக்கத்தன்மை, துல்லியமான எந்திரம், பயனர் மைய வடிவமைப்பு மற்றும் வலுவான அமில எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த அம்சங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக ஆக்குகின்றன, இது குறைக்கடத்தி செதில்களின் உயர்தர, நம்பகமான மற்றும் திறமையான உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது. இந்த மேம்பட்ட சஸ்செப்டரை தங்கள் செயல்முறைகளில் ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் அதிக மகசூல், மேம்பட்ட உபகரண செயல்திறன் மற்றும் அதிக செலவு குறைந்த உற்பத்தி சுழற்சிகளை அடைய முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் VEECO MOCVD சஸ்பெக்டர் கடைகள்: