SiC பூச்சு அரை நிலவு கிராஃபைட் பாகங்களின் ஒரு முக்கிய பகுதியாக, SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது வெப்ப பாதுகாப்பில் CVD SiC பூச்சு கடினமானது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது ஒரு முதிர்ந்த CVD SiC பூச்சு திடமான உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், இது வாடிக்கையாளர்களுக்கு பொருத்தமான மற்றும் சிறந்த CVD SiC பூச்சு திடமான உணர்ந்த தயாரிப்புகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் துறையில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறது.
CVD SiC கோட்டிங் ரிஜிட் ஃபீல் என்பது கிராஃபைட் ரிஜிட் ஃபீல்டின் மேற்பரப்பில் சிவிடி எஸ்ஐசி பூச்சு மூலம் பெறப்பட்ட ஒரு கூறு ஆகும், இது வெப்ப காப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது.CVD SiC பூச்சுஉயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சிறந்த இயந்திர பண்புகள், இரசாயன நிலைத்தன்மை, நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன், மின் காப்பு மற்றும் சிறந்த ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, CVD SiC பூச்சு திடமான உணர்வு நல்ல வலிமை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு உள்ளது, மற்றும் பொதுவாக வெப்ப காப்பு மற்றும் எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறைகள் ஆதரவு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
● உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூச்சு திடமானது, பொருளின் வகையைப் பொறுத்து 1000℃ அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
● இரசாயன நிலைத்தன்மை: CVD SiC பூச்சு திடமானது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் வேதியியல் சூழலில் நிலையாக இருக்கும் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பைத் தாங்கும்.
● வெப்ப காப்பு செயல்திறன்: CVD SiC பூச்சு திடமான உணர்வு நல்ல வெப்ப தனிமை விளைவைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் எதிர்வினை அறையிலிருந்து வெப்பம் சிதறாமல் திறம்பட தடுக்க முடியும்.
● இயந்திர வலிமை: SiC பூச்சு கடினமாக உணர்ந்தது, நல்ல இயந்திர வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மை கொண்டது, இதனால் அது இன்னும் அதன் வடிவத்தை பராமரிக்க முடியும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் மற்ற கூறுகளை ஆதரிக்கிறது.
● வெப்ப தனிமைப்படுத்தல்: CVD SiC பூச்சு திடமான உணர்திறன் வெப்ப காப்பு வழங்குகிறதுSiC எபிடாக்சியல்எதிர்வினை அறைகள், அறையில் அதிக வெப்பநிலை சூழலை பராமரிக்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
● கட்டமைப்பு ஆதரவு: CVD SiC பூச்சு திடமான உணர்ந்தது ஆதரவை வழங்குகிறதுஅரை நிலவு பாகங்கள்மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் சாத்தியமான சிதைவு அல்லது சேதத்தைத் தடுக்க மற்ற கூறுகள்.
● எரிவாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு: இது எதிர்வினை அறையில் வாயு ஓட்டம் மற்றும் விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, பல்வேறு பகுதிகளில் வாயுவின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.
VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களது தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட CVD SiC பூச்சுகளை உங்களுக்கு வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி
3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானியம் நீe
2~10μm
இரசாயன தூய்மை
இரசாயன தூய்மை99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700℃
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
4.5×10-6K-1