சிலிக்கான் எபிடாக்சியின் சிறப்பியல்புகள்

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியின் பண்புகள் பின்வருமாறு:

அதிக தூய்மை: இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் வளர்க்கப்படும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடுக்கு பாரம்பரிய செதில்களை விட மிக அதிக தூய்மை, சிறந்த மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி கொண்டது.

மெல்லிய ஃபிலிம் சீரான தன்மை: சிலிக்கான் எபிடாக்சி ஒரு குறிப்பிட்ட உறுதியான வளர்ச்சி விகிதத்தின் கீழ் மிகவும் சீரான மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது. அதே நேரத்தில், வெப்பத்தின் சீரான தன்மையை அடைய முடியும், இதன் மூலம் படிக அமைப்பு குறைபாடுகளை குறைத்து, படிகத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

வலுவான கட்டுப்பாடு: சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி தொழில்நுட்பம் சிலிக்கான் பொருட்களின் உருவவியல், அளவு மற்றும் கட்டமைப்பை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும், மேலும் பல அடுக்கு ஹீட்டோரோஜங்க்ஷன்கள் போன்ற சிக்கலான படிக கட்டமைப்புகளை வளர்க்க முடியும்.

பெரிய செதில் விட்டம்: சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் பெரிய விட்டம் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களை வளர்க்க முடியும், மேலும் பெரிய விட்டம் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களை உருவாக்கும் திறன் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்திக்கு முக்கியமானது.

செயல்முறை நம்பகத்தன்மை: சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செயல்முறை பல முறை மீண்டும் பயன்படுத்தப்படலாம், இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் வெகுஜன உற்பத்திக்கு மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது.