> செய்தி > தொழில் செய்திகள்

சிப் உற்பத்தி: MOSFET இன் செயல்முறை ஓட்டம்

2024-07-31

சில்லு உற்பத்தி செயல்முறை ஃபோட்டோலித்தோகிராபியை உள்ளடக்கியது,பொறித்தல், பரவல், மெல்லிய படலம், அயன் பொருத்துதல், இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் செய்தல், சுத்தம் செய்தல், முதலியன. இந்தச் செயல்முறைகள் MOSFET ஐத் தயாரிப்பதற்காக எவ்வாறு ஒருங்கிணைக்கப்படுகின்றன என்பதை தோராயமாக இந்தக் கட்டுரை விளக்குகிறது.

1.நாம் முதலில் ஒருஅடி மூலக்கூறு99.9999999% வரை சிலிக்கான் தூய்மையுடன்.

2. சிலிக்கான் படிக அடி மூலக்கூறில் ஆக்சைடு படலத்தின் ஒரு அடுக்கை வளர்க்கவும்.

3. ஸ்பின்-கோட் போட்டோரெசிஸ்ட் சமமாக.

4. போட்டோலித்தோகிராபி ஒரு போட்டோ மாஸ்க் மூலம் ஃபோட்டோமாஸ்க்கில் உள்ள வடிவத்தை ஃபோட்டோரெசிஸ்டுக்கு மாற்றும்.

5. போட்டோசென்சிட்டிவ் பகுதியில் உள்ள போட்டோரெசிஸ்ட் வளர்ச்சிக்குப் பிறகு கழுவப்படுகிறது.

6. ஃபோட்டோரிசிஸ்ட்டால் மூடப்படாத ஆக்சைடு படலத்தை எச்சிங் மூலம் எட்டி, அதனால் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி முறை மாற்றப்படும்.செதில்.

7. அதிகப்படியான ஒளிச்சேர்க்கையை சுத்தம் செய்து அகற்றவும்.

8. மற்றொரு மெல்லிய பயன்படுத்தவும்ஆக்சைடு படம். அதன் பிறகு, மேலே உள்ள போட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் எச்சிங் மூலம், கேட் பகுதியில் உள்ள ஆக்சைடு படம் மட்டுமே தக்கவைக்கப்படுகிறது.

9. அதன் மீது பாலிசிலிக்கானின் அடுக்கை வளர்க்கவும்

10. படி 7 இல் உள்ளதைப் போல, கேட் ஆக்சைடு அடுக்கில் பாலிசிலிகானை மட்டும் வைத்திருக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் எச்சிங்கைப் பயன்படுத்தவும்.

11. ஆக்சைடு லேயர் மற்றும் வாயிலை ஃபோட்டோலித்தோகிராபி சுத்தம் செய்வதன் மூலம் மூடவும், அதனால் முழு செதில் இருக்கும்அயனி பொருத்தப்பட்ட, மற்றும் ஒரு ஆதாரம் மற்றும் வடிகால் இருக்கும்.