Vetek செமிகண்டக்டரின் PECVD கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் செதில்களை திறம்பட இடைவெளி வைப்பதன் மூலம் சூரிய மின்கல பூச்சு செயல்முறைகளை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் சீரான பூச்சு படிவுக்கான பளபளப்பான வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுகிறது. மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் பொருள் தேர்வுகளுடன், Vetek குறைக்கடத்தியின் PECVD கிராஃபைட் படகுகள் சிலிக்கான் வேஃபர் தரத்தை மேம்படுத்துகின்றன மற்றும் சூரிய ஆற்றல் மாற்றும் திறனை அதிகரிக்கின்றன. எங்களை விசாரிக்க தயங்க வேண்டாம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீனா PECVD கிராஃபைட் படகு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்.
VeTek செமிகண்டக்டரின் சூரிய மின்கலத்தின் (பூச்சு) PECVD கிராஃபைட் படகின் பங்கு என்ன?
பூச்சு செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் சாதாரண சிலிக்கான் செதில்களின் கேரியராக, PECVD கிராஃபைட் படகு அமைப்பில் சில இடைவெளிகளுடன் பல படகு செதில்களைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இரண்டு அருகிலுள்ள படகு செதில்களுக்கு இடையில் மிகக் குறுகிய இடைவெளி உள்ளது, மேலும் சிலிக்கான் செதில்கள் இரண்டிலும் வைக்கப்படுகின்றன. வெற்று கதவின் பக்கங்கள்.
PECVD கிராஃபைட் படகுப் பொருளான கிராஃபைட் நல்ல மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், அருகில் உள்ள இரண்டு படகுகளில் AC மின்னழுத்தம் கேட்கப்படுகிறது, இதனால் அறைக்குள் ஒரு குறிப்பிட்ட அழுத்தம் மற்றும் வாயு இருக்கும்போது, இரண்டு அடுத்தடுத்த படகுகள் நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை துருவங்களை உருவாக்குகின்றன. இரண்டு படகுகளுக்கு இடையே பளபளப்பு வெளியேற்றம் ஏற்படுகிறது, பளபளப்பான வெளியேற்றமானது விண்வெளியில் SiH4 மற்றும் NH3 வாயுவை சிதைத்து, Si மற்றும் N அயனிகளை உருவாக்குகிறது. SiNx மூலக்கூறுகள் உருவாக்கப்பட்டு பூச்சுக்கான நோக்கத்தை அடைய சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன.
PECVD கிராஃபைட் படகு சூரிய மின்கல முலாம் எதிர்ப்புப் படத்திற்கான கேரியராக உள்ளது, அதன் அமைப்பு மற்றும் அளவு சிலிக்கான் செதில்களின் மாற்றும் திறன் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது, பல ஆண்டுகளாக தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்குப் பிறகு, எங்கள் தொழிற்சாலையில் இப்போது மேம்பட்ட உற்பத்தி உபகரணங்கள், முதிர்ந்த தொழில்நுட்ப வடிவமைப்பாளர்கள் மற்றும் அனுபவம் வாய்ந்தவர்கள் உள்ளனர். உற்பத்தி ஊழியர்கள் மற்றும் பொருட்கள் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட மூலப்பொருட்கள் அல்லது உயர்தர உள்நாட்டு பொருட்களை தேர்வு செய்யலாம். தற்போது, எங்கள் நிறுவனம் தயாரிக்கும் கிராஃபைட் ஹவுஸ், கிராஃபைட் படகிலிருந்து நியாயமான தூரம், எளிமையான அமைப்பு, சிலிக்கான் பூச்சு சீரானதாக, சிலிக்கான் செதில்களின் தரத்தை மேம்படுத்தி, சூரிய சக்தியை மாற்றும் திறன் அதிகமாக உள்ளது.
Vetek செமிகண்டக்டர் சந்தையில் இப்போது தேவைப்படும் அனைத்து வகையான கிராஃபைட் படகுகளையும் கொண்டுள்ளது.
ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | ||
சொத்து | அலகு | வழக்கமான மதிப்பு |
மொத்த அடர்த்தி | g/cm³ | 1.83 |
கடினத்தன்மை | எச்.எஸ்.டி | 58 |
மின் எதிர்ப்பாற்றல் | mΩ.m | 10 |
நெகிழ்வு வலிமை | MPa | 47 |
அமுக்க வலிமை | MPa | 103 |
இழுவிசை வலிமை | MPa | 31 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | GPa | 11.8 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | W·m-1·K-1 | 130 |
சராசரி தானிய அளவு | μm | 8-10 |
போரோசிட்டி | % | 10 |
சாம்பல் உள்ளடக்கம் | பிபிஎம் | ≤5 (சுத்திகரிக்கப்பட்ட பிறகு) |