ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் சஸ்பெப்டர்

VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor உயர் தரம் மற்றும் நீண்ட ஆயுளுடன் உள்ளது, எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

ரேபிட் தெர்மல் அனீல் (ஆர்டிஏ) என்பது செமிகண்டக்டர் டிவைஸ் ஃபேப்ரிகேஷனில் பயன்படுத்தப்படும் ரேபிட் தெர்மல் ப்ராசஸிங்கின் முக்கியமான துணைக்குழு ஆகும். இது பல்வேறு இலக்கு வெப்ப சிகிச்சைகள் மூலம் அவற்றின் மின் பண்புகளை மாற்றியமைக்க தனிப்பட்ட செதில்களின் வெப்பத்தை உள்ளடக்கியது. RTA செயல்முறையானது டோபண்டுகளை செயல்படுத்துதல், படத்திலிருந்து படத்திற்கு அல்லது படத்திலிருந்து வேஃபர் அடி மூலக்கூறு இடைமுகங்களை மாற்றுதல், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் அடர்த்தி, வளர்ந்த பட நிலைகளை மாற்றியமைத்தல், அயன் பொருத்துதல் சேதத்தை சரிசெய்தல், டோபண்ட் இயக்கம் மற்றும் படங்களுக்கு இடையே டோபண்ட்களை இயக்குதல் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது. அல்லது செதில் அடி மூலக்கூறுக்குள்.

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு, Rapid Thermal Annealing Susceptor, RTP செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இது செயலற்ற சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பாதுகாப்பு பூச்சுடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பொருளைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டுள்ளது. SiC- பூசப்பட்ட சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு 1100 ° C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும், தீவிர நிலைமைகளிலும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. SiC பூச்சு வாயு கசிவு மற்றும் துகள் உதிர்தலுக்கு எதிராக சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, இது தயாரிப்பின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.

துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க, சிப் SiC உடன் பூசப்பட்ட இரண்டு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகளுக்கு இடையில் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை உணரிகள் அல்லது அடி மூலக்கூறுடன் தொடர்பு கொண்ட தெர்மோகப்பிள்கள் மூலம் துல்லியமான வெப்பநிலை அளவீடுகளைப் பெறலாம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: