குறைக்கடத்தி வெப்ப தெளிக்கும் தொழில்நுட்பம்

செமிகண்டக்டர் தெர்மல் ஸ்ப்ரேயிங் டெக்னாலஜி என்பது ஒரு மேம்பட்ட செயல்முறையாகும், இது உருகிய அல்லது அரை உருகிய நிலையில் உள்ள பொருட்களை அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் தெளித்து ஒரு பூச்சு உருவாக்குகிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, முக்கியமாக அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் கடத்துத்திறன், காப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு போன்ற குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகளுடன் பூச்சுகளை உருவாக்கப் பயன்படுகிறது. வெப்ப தெளிக்கும் தொழில்நுட்பத்தின் முக்கிய நன்மைகள் உயர் செயல்திறன், கட்டுப்படுத்தக்கூடிய பூச்சு தடிமன் மற்றும் நல்ல பூச்சு ஒட்டுதல் ஆகியவை அடங்கும், இது அதிக துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் குறிப்பாக முக்கியமானது.

குறைக்கடத்திகளில் வெப்ப தெளிக்கும் தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாடு

பிளாஸ்மா கற்றை பொறித்தல் (உலர் பொறித்தல்)

பிளாஸ்மா மற்றும் எலக்ட்ரான்கள் போன்ற சார்ஜ் செய்யப்பட்ட துகள்கள் மற்றும் அதிக வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் நடுநிலை அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகள் மற்றும் ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் ஆகியவற்றைக் கொண்ட பிளாஸ்மா செயலில் உள்ள துகள்களை உருவாக்க பளபளப்பான வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்துவதைக் குறிக்கிறது. தயாரிப்புகள் மற்றும் அகற்றப்பட்டு, அதன் மூலம் முறை பரிமாற்றத்தின் செதுக்கல் தொழில்நுட்பத்தை நிறைவு செய்கிறது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி டெம்ப்ளேட்டுகளிலிருந்து செதில்களுக்கு அதி-பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தியில் சிறந்த வடிவங்களின் உயர் நம்பகத்தன்மை பரிமாற்றத்தை உணர்ந்து கொள்வதற்கான ஈடுசெய்ய முடியாத செயல்முறையாகும்.

Cl மற்றும் F போன்ற அதிக எண்ணிக்கையிலான செயலில் உள்ள ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் உருவாக்கப்படும். அவை செமிகண்டக்டர் சாதனங்களை பொறிக்கும்போது, ​​அலுமினிய உலோகக்கலவைகள் மற்றும் பீங்கான் கட்டமைப்பு பாகங்கள் உட்பட உபகரணங்களின் பிற பகுதிகளின் உள் மேற்பரப்புகளை அரிக்கிறது. இந்த வலுவான அரிப்பு அதிக எண்ணிக்கையிலான துகள்களை உருவாக்குகிறது, இது உற்பத்தி உபகரணங்களின் அடிக்கடி பராமரிப்பு தேவைப்படுகிறது, ஆனால் பொறித்தல் செயல்முறை அறையின் தோல்வி மற்றும் கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில் சாதனத்திற்கு சேதம் ஏற்படுகிறது.

Y2O3 மிகவும் நிலையான இரசாயன மற்றும் வெப்ப பண்புகள் கொண்ட ஒரு பொருள். அதன் உருகுநிலை 2400℃ க்கும் அதிகமாக உள்ளது. இது வலுவான அரிக்கும் சூழலில் நிலையானதாக இருக்கும். பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சுக்கு அதன் எதிர்ப்பானது கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை பெரிதும் நீட்டிக்க முடியும் மற்றும் செதுக்கல் அறையில் உள்ள துகள்களைக் குறைக்கும்.

செதுக்கும் அறை மற்றும் பிற முக்கிய கூறுகளை பாதுகாக்க உயர் தூய்மை Y2O3 பூச்சு தெளிப்பதே முக்கிய தீர்வு.