VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC Cantilever Paddle ஒரு மிக உயர்ந்த செயல்திறன் தயாரிப்பு ஆகும். எங்கள் SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு பொதுவாக சிலிக்கான் செதில்கள், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பிற செயலாக்க செயல்முறைகளை கையாளவும் ஆதரிக்கவும் வெப்ப சிகிச்சை உலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC பொருளின் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்பாட்டில் அதிக செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. உயர்தர தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
சமீபத்திய விற்பனையான, குறைந்த விலை மற்றும் உயர்தர SiC Cantilever துடுப்பை வாங்க, எங்கள் தொழிற்சாலை Vetek செமிகண்டக்டருக்கு வர உங்களை வரவேற்கிறோம். உங்களுடன் ஒத்துழைக்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: அதிக வெப்பநிலையில் அதன் வடிவத்தையும் கட்டமைப்பையும் பராமரிக்க முடியும், அதிக வெப்பநிலை செயலாக்க செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: பல்வேறு இரசாயனங்கள் மற்றும் வாயுக்களுக்கு சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிதைவு மற்றும் சேதத்தைத் தடுக்க நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது.
உயர் துல்லியம்: உயர் செயலாக்கத் துல்லியம் தானியங்கு சாதனங்களில் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
குறைந்த மாசுபாடு: உயர் தூய்மையான SiC பொருள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இது மிகத் தூய்மையான உற்பத்திச் சூழல்களுக்கு மிகவும் முக்கியமானது.
உயர் இயந்திர பண்புகள்: அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அழுத்தத்துடன் கடுமையான பணிச்சூழலைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது.
SiC Cantilever Paddle இன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் மற்றும் அதன் பயன்பாட்டுக் கொள்கை
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிலிக்கான் செதில் கையாளுதல்:
SiC Cantilever Paddle முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் செதில்களைக் கையாளவும் ஆதரிக்கவும் பயன்படுகிறது. இந்த செயல்முறைகளில் பொதுவாக சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், பூச்சு மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை ஆகியவை அடங்கும். பயன்பாட்டின் கொள்கை:
சிலிக்கான் செதில் கையாளுதல்: SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகப் பிடிக்கவும் நகர்த்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சிகிச்சை செயல்முறைகளின் போது, SiC பொருளின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமை சிலிக்கான் செதில் சேதமடையாமல் அல்லது சிதைக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை:
CVD செயல்பாட்டில், SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு சிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்லப் பயன்படுகிறது, இதனால் மெல்லிய படலங்கள் அவற்றின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படும். பயன்பாட்டின் கொள்கை:
CVD செயல்பாட்டில், SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு எதிர்வினை அறையில் சிலிக்கான் செதில்களை சரிசெய்யப் பயன்படுகிறது, மேலும் வாயு முன்னோடி அதிக வெப்பநிலையில் சிதைந்து சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது. SiC பொருளின் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழலின் கீழ் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
வேலை வெப்பநிலை (°C) | 1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
SiC உள்ளடக்கம் | > 99.96% |
இலவச Si உள்ளடக்கம் | < 0.1% |
மொத்த அடர்த்தி | 2.60-2.70 g/cm3 |
வெளிப்படையான போரோசிட்டி | < 16% |
சுருக்க வலிமை | > 600 MPa |
குளிர் வளைக்கும் வலிமை | 80-90 MPa (20°C) |
சூடான வளைக்கும் வலிமை | 90-100 MPa (1400°C) |
வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C | 4.70 10-6/°C |
வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C | 23 W/m•K |
மீள் மாடுலஸ் | 240 GPa |
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | மிகவும் நல்லது |