Vetek செமிகண்டக்டர் அதன் வாடிக்கையாளர்களுடன் இணைந்து வேஃபர் கேரியர் ட்ரேக்கான தனிப்பயன் வடிவமைப்புகளை உருவாக்குவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. CVD சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, III-V எபிடாக்ஸி மற்றும் III-நைட்ரைடு எபிடாக்ஸி, சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்காக வேஃபர் கேரியர் ட்ரேயை வடிவமைக்க முடியும். உங்கள் susceptor தேவைகள் குறித்து Vetek குறைக்கடத்தியை தொடர்பு கொள்ளவும்.
எங்கள் தொழிற்சாலையிலிருந்து வேஃபர் கேரியர் ட்ரேயை வாங்குவதில் நீங்கள் உறுதியாக இருக்க முடியும்.
Vetek குறைக்கடத்தி முக்கியமாக மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர் SiC-CVD உபகரணங்களுக்கான வேஃபர் கேரியர் ட்ரே போன்ற CVD SiC பூச்சு கிராஃபைட் பாகங்களை வழங்குகிறது, மேலும் தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட மற்றும் போட்டி உற்பத்தி உபகரணங்களை வழங்குவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. SiC-CVD உபகரணங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறில் ஒரே மாதிரியான ஒற்றை படிக மெல்லிய பட எபிடாக்சியல் அடுக்கின் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, SiC எபிடாக்சியல் தாள் முக்கியமாக Schottky diode, IGBT, MOSFET மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்கள் போன்ற சக்தி சாதனங்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
உபகரணங்கள் செயல்முறை மற்றும் உபகரணங்களை நெருக்கமாக ஒருங்கிணைக்கிறது. SiC-CVD உபகரணங்கள் அதிக உற்பத்தி திறன், 6/8 அங்குல இணக்கத்தன்மை, போட்டி செலவு, பல உலைகளுக்கான தொடர்ச்சியான தானியங்கி வளர்ச்சி கட்டுப்பாடு, குறைந்த குறைபாடு விகிதம், பராமரிப்பு வசதி மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றில் வெளிப்படையான நன்மைகள் உள்ளன. எங்கள் Vetek செமிகண்டக்டர் வழங்கிய SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் கேரியர் ட்ரேயுடன் இணைந்து, இது உபகரணங்களின் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்தலாம், ஆயுளை நீட்டிக்கலாம் மற்றும் செலவைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.
Vetek குறைக்கடத்தியின் செதில் கேரியர் தட்டில் முக்கியமாக உயர் தூய்மை, நல்ல கிராஃபைட் நிலைப்புத்தன்மை, உயர் செயலாக்க துல்லியம் மற்றும் CVD SiC பூச்சு, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: சிலிக்கான்-கார்பைடு பூச்சுகள் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் அடி மூலக்கூறை வெப்பம் மற்றும் இரசாயன அரிப்புகளிலிருந்து பாதுகாக்கின்றன. .
கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: சிலிக்கான்-கார்பைடு பூச்சுகள் பொதுவாக அதிக கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன மற்றும் அடி மூலக்கூறின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கின்றன.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல இரசாயனங்களுக்கு அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் அடி மூலக்கூறை அரிப்பு சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கும்.
உராய்வின் குறைக்கப்பட்ட குணகம்: சிலிக்கான்-கார்பைடு பூச்சுகள் பொதுவாக உராய்வு குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டிருக்கும், இது உராய்வு இழப்புகளைக் குறைக்கும் மற்றும் கூறுகளின் வேலை திறனை மேம்படுத்தும்.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பொதுவாக நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது அடி மூலக்கூறு வெப்பத்தை சிறப்பாகச் சிதறடித்து, கூறுகளின் வெப்பச் சிதறல் விளைவை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
பொதுவாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அடி மூலக்கூறுக்கு பல பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கவும் மற்றும் அதன் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் முடியும்.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |