உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு

உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். தயாரிப்பு உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொருளால் ஆனது. உயர் தூய்மை, உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் சிறந்த பண்புகளுடன் இணைந்து, இது செதில் பரிமாற்றம், ஆதரவு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கம் போன்ற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, செயல்முறை துல்லியம் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்வதற்கான நம்பகமான உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது.

பொதுவாக, உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்பாட்டில் பின்வரும் குறிப்பிட்ட பாத்திரங்களை வகிக்கிறது:

செதில் பரிமாற்றம்: உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு பொதுவாக உயர் வெப்பநிலை பரவல் அல்லது ஆக்சிஜனேற்ற உலைகளில் செதில் பரிமாற்ற சாதனமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் அதிக கடினத்தன்மை அதை அணிய-எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட கால பயன்பாட்டின் போது சிதைப்பது எளிதானது அல்ல, மேலும் பரிமாற்ற செயல்பாட்டின் போது செதில் துல்லியமாக நிலைநிறுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்ய முடியும். அதன் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன் இணைந்து, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் உலைக் குழாயின் உள்ளேயும் வெளியேயும் செதில்களை எந்த மாசும் அல்லது சேதமும் ஏற்படுத்தாமல் பாதுகாப்பாக மாற்ற முடியும்.

வேஃபர் ஆதரவு: SiC பொருள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது வெப்பநிலை மாறும்போது அதன் அளவு குறைவாக மாறுகிறது, இது செயல்பாட்டில் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது. இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறைகளில், SiC Cantilever Paddle ஆனது, படிவு செயல்பாட்டின் போது செதில் நிலையானதாகவும் தட்டையாகவும் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, செதில்களை ஆதரிக்கவும் சரிசெய்யவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதன் மூலம் படத்தின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. .

உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் பயன்பாடு: SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்பநிலையைத் தாங்கும். எனவே, இந்த தயாரிப்பு அதிக வெப்பநிலை அனீலிங், ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்புகடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: