கிடைமட்ட SiC வேஃபர் கேரியர்

VeTek செமிகண்டக்டர்கள்கிடைமட்ட SiC வேஃபர் கேரியர்/படகு மிக அதிக உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 2700°C), இதுகிடைமட்ட SiC வேஃபர் கேரியர்/படகு அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் நிலையாக வேலை செய்யும். இந்த அம்சம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் குறிப்பாக முக்கியமானது, குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை அனீலிங் அல்லது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற செயல்முறைகளில்.

திகிடைமட்ட SiC வேஃபர் கேரியர்/படகு குறிப்பாக செதில் கேரியர்களை சுமந்து செல்லும் செயல்பாட்டில் பின்வரும் பாத்திரங்களை வகிக்கிறது:

சிலிக்கான் வேஃபர் சுமந்து செல்லும் மற்றும் ஆதரவுசெமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும் ஆதரிக்கவும் கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பல சிலிக்கான் செதில்களை ஒன்றாக இணைக்க முடியும், அவை முழு செயலாக்க செயல்முறையிலும் நல்ல நிலை மற்றும் நிலைத்தன்மையுடன் இருப்பதை உறுதிசெய்யும்.

சீரான வெப்பம் மற்றும் குளிர்ச்சி: SiC இன் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக, வேஃபர் படகு அனைத்து சிலிக்கான் செதில்களுக்கும் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க முடியும். இது உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது சிலிக்கான் செதில்களின் சீரான வெப்பம் அல்லது குளிர்ச்சியை அடைய உதவுகிறது, செயலாக்க செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும்: SiC இன் இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயு சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்பட உதவுகிறது, இதன் மூலம் சிலிக்கான் செதில்கள் சாத்தியமான அசுத்தங்கள் அல்லது எதிர்வினைகளுக்கு வெளிப்படுவதைக் குறைக்கிறது, சிலிக்கான் செதில்களின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

உண்மையில், கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு அதன் தனித்துவமான தயாரிப்பு பண்புகள் காரணமாக மேலே உள்ள பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்:

சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை: SiC பொருள் பல்வேறு இரசாயன ஊடகங்களுக்கு சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. அரிக்கும் வாயுக்கள் அல்லது திரவங்களை செயலாக்கும் செயல்பாட்டில், SiC வேஃபர் படகு இரசாயன அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும் மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களை மாசு அல்லது சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கும்.

உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC இன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் கேரியர் செயல்பாட்டில் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க உதவுகிறது மற்றும் வெப்ப திரட்சியைக் குறைக்கிறது. இது துல்லியமான செயலாக்கத்தின் போது வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டின் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களின் சீரான வெப்பம் அல்லது குளிர்ச்சியை உறுதி செய்யும்.

குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: SiC பொருளின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் என்பது வெப்பநிலை மாற்றங்களின் போது SiC வேஃபர் படகின் பரிமாண மாற்றம் மிகச் சிறியதாக இருக்கும். இது உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தால் ஏற்படும் சிலிக்கான் செதில்களின் சிதைவு அல்லது நிலை இடப்பெயர்ச்சியைத் தடுக்கிறது.

கிடைமட்ட SiC வேஃபர் கேரியரின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: