> செய்தி > தொழில் செய்திகள்

ஒரு படிக உலையின் வெப்பப் புலத்தின் வெப்பநிலை சாய்வு என்ன?

2024-09-09

வெப்பநிலை புலம்ஒற்றை படிக வளர்ச்சிஒரு படிக உலைகளில் வெப்பநிலையின் இடஞ்சார்ந்த விநியோகத்தைக் குறிக்கிறது, இது வெப்ப புலம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. கணக்கிடும் போது, வெப்ப அமைப்பில் வெப்பநிலை விநியோகம் ஒப்பீட்டளவில் நிலையானது, இது நிலையான வெப்ப புலம் என்று அழைக்கப்படுகிறது. ஒரு படிகத்தின் வளர்ச்சியின் போது, வெப்பப் புலம் மாறும், இது டைனமிக் வெப்ப புலம் என்று அழைக்கப்படுகிறது.

ஒற்றை படிகம் வளரும் போது, கட்டத்தின் தொடர்ச்சியான மாற்றம் காரணமாக (திரவ கட்டத்திலிருந்து திட நிலைக்கு), திட கட்டம் உள்ளுறை வெப்பம் தொடர்ந்து வெளியிடப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், படிகமானது நீண்டு கொண்டே செல்கிறது, உருகும் நிலை தொடர்ந்து குறைகிறது, மேலும் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் கதிர்வீச்சு மாறுகிறது. எனவே, வெப்ப புலம் மாறுகிறது, இது டைனமிக் வெப்ப புலம் என்று அழைக்கப்படுகிறது.

Thermal field for single crystal furnace

திட-திரவ இடைமுகம் என்றால் என்ன?

ஒரு குறிப்பிட்ட தருணத்தில், உலையின் எந்த புள்ளியும் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது. வெப்பநிலை புலத்தில் அதே வெப்பநிலையுடன் விண்வெளியில் உள்ள புள்ளிகளை இணைத்தால், நாம் ஒரு இடஞ்சார்ந்த மேற்பரப்பைப் பெறுவோம். இந்த இடஞ்சார்ந்த மேற்பரப்பில், வெப்பநிலை எல்லா இடங்களிலும் சமமாக இருக்கும், அதை நாம் சமவெப்ப மேற்பரப்பு என்று அழைக்கிறோம். ஒற்றை படிக உலையில் உள்ள சமவெப்ப மேற்பரப்புகளில், மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த சமவெப்ப மேற்பரப்பு உள்ளது, இது திடமான கட்டத்திற்கும் திரவ கட்டத்திற்கும் இடையிலான இடைமுகமாகும், எனவே இது திட-திரவ இடைமுகம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. திட-திரவ இடைமுகத்திலிருந்து படிகம் வளர்கிறது.

Schematic diagram of thermal field temperature detection device

வெப்பநிலை சாய்வு என்றால் என்ன?

வெப்பநிலை சாய்வு என்பது வெப்ப புலத்தில் A புள்ளியின் வெப்பநிலையை அருகிலுள்ள புள்ளி B இன் வெப்பநிலைக்கு மாற்றும் விகிதத்தைக் குறிக்கிறது. அதாவது, ஒரு அலகு தூரத்திற்குள் வெப்பநிலையின் மாற்ற விகிதம்.

Temperature gradient

எப்போதுஒற்றை படிக சிலிக்கான்வளர்கிறது, வெப்பப் புலத்தில் திட மற்றும் உருகுவதற்கு இரண்டு வடிவங்கள் உள்ளன, மேலும் இரண்டு வகையான வெப்பநிலை சாய்வுகளும் உள்ளன:

▪ படிகத்தில் உள்ள நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு.

▪ உருகும்போது நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு.

▪ இவை இரண்டு முற்றிலும் வேறுபட்ட வெப்பநிலை விநியோகங்கள், ஆனால் திட-திரவ இடைமுகத்தில் வெப்பநிலை சாய்வு படிகமயமாக்கல் நிலையை மிகவும் பாதிக்கலாம். படிகத்தின் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு படிகத்தின் நீளமான மற்றும் குறுக்குவெட்டு வெப்ப கடத்தல், மேற்பரப்பு கதிர்வீச்சு மற்றும் வெப்ப புலத்தில் புதிய நிலை ஆகியவற்றால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. பொதுவாக, மைய வெப்பநிலை அதிகமாகவும், படிகத்தின் விளிம்பு வெப்பநிலை குறைவாகவும் இருக்கும். உருகலின் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு முக்கியமாக அதைச் சுற்றியுள்ள ஹீட்டர்களால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது, எனவே மைய வெப்பநிலை குறைவாக உள்ளது, க்ரூசிபிள் அருகே வெப்பநிலை அதிகமாக உள்ளது மற்றும் ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு எப்போதும் நேர்மறையாக இருக்கும்.

Radial temperature gradient of the crystal

வெப்ப புலத்தின் நியாயமான வெப்பநிலை விநியோகம் பின்வரும் நிபந்தனைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்:

▪ படிகத்தில் உள்ள நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு போதுமான அளவு பெரியது, ஆனால் மிக பெரியதாக இல்லை, போது போதுமான வெப்பச் சிதறல் திறன் உள்ளதுபடிக வளர்ச்சிபடிகமயமாக்கலின் உள்ளுறை வெப்பத்தை அகற்ற.

▪ உருகலில் உள்ள நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு ஒப்பீட்டளவில் பெரியது, உருகும்போது புதிய படிக கருக்கள் எதுவும் உருவாகவில்லை என்பதை உறுதி செய்கிறது. இருப்பினும், அது மிகவும் பெரியதாக இருந்தால், அது இடப்பெயர்வுகள் மற்றும் உடைப்புகளை ஏற்படுத்துவது எளிது.

▪ படிகமயமாக்கல் இடைமுகத்தில் உள்ள நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு சரியான அளவில் பெரியதாக உள்ளது, இதனால் தேவையான குளிர்ச்சியை உருவாக்குகிறது, இதனால் ஒற்றை படிகத்திற்கு போதுமான வளர்ச்சி வேகம் இருக்கும். இது மிகவும் பெரியதாக இருக்கக்கூடாது, இல்லையெனில் கட்டமைப்பு குறைபாடுகள் ஏற்படும், மேலும் படிகமயமாக்கல் இடைமுகத்தை தட்டையாக மாற்ற ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வு முடிந்தவரை சிறியதாக இருக்க வேண்டும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீன உற்பத்தியாளர்SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி நுண்துளை கிராஃபைட், மோனோகிரிஸ்டலின் இழுக்கும் சிலுவை, சிலிக்கான் ஒற்றை கிரிஸ்டல் ஜிக் இழுக்கவும், மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானுக்கான சிலுவை, படிக வளர்ச்சிக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட குழாய். VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு SiC வேஃபர் தயாரிப்புகளுக்கு செமிகண்டக்டர் துறையில் மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.

மேலே உள்ள தயாரிப்புகளில் நீங்கள் ஆர்வமாக இருந்தால், தயவுசெய்து எங்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளவும்.

கும்பல்: +86-180 6922 0752

WhatsAPP: +86 180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com

முந்தைய:சிப் உற்பத்தி செயல்முறையின் முழுமையான விளக்கம் (2/2): வேஃபர் முதல் பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை வரை

அடுத்தது:சபையர் பற்றி உங்களுக்கு எவ்வளவு தெரியும்?