> செய்தி > தொழில் செய்திகள்

குறைக்கடத்தி துறையில் TaC பூசப்பட்ட பகுதிகளின் குறிப்பிட்ட பயன்பாடு என்ன?

2024-11-22

Vetek Tantalum carbide coating parts

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3*10^-6/கே
TaC பூச்சு கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10^-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

குறைக்கடத்தி துறையில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு பயன்பாடு

1. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை கூறுகள்

காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆகியவற்றின் எபிடாக்சியல் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உலை கூறுகளில் TaC பூச்சு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் உணவுகள், முனைகள் மற்றும் சென்சார்கள். இந்த கூறுகளுக்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் மிக அதிக ஆயுள் மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை தேவைப்படுகிறது. TaC பூச்சு அவற்றின் சேவை வாழ்க்கையை திறம்பட நீட்டித்து மகசூலை மேம்படுத்தும்.

2. ஒற்றை படிக வளர்ச்சி கூறு

SiC, GaN மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AIN) போன்ற பொருட்களின் ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில்,TaC பூச்சுசிலுவைகள், விதை படிக வைத்திருப்பவர்கள், வழிகாட்டி வளையங்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள் போன்ற முக்கிய கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. TaC பூச்சு கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் தூய்மையற்ற இடப்பெயர்வைக் குறைக்கலாம், படிக தரத்தை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைக்கலாம்.

3. உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை கூறுகள்

எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் கூறுகள், ஊசி முனைகள், பாதுகாப்பு வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை பயன்பாடுகளிலும் TaC பூச்சு பயன்படுத்தப்படலாம். இந்த கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல செயல்திறனை பராமரிக்க வேண்டும், மேலும் TaC இன் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

4. MOCVD அமைப்புகளில் ஹீட்டர்கள்

உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) அமைப்புகளில் TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் வெற்றிகரமாக அறிமுகப்படுத்தப்பட்டுள்ளன. பாரம்பரிய pBN-பூசப்பட்ட ஹீட்டர்களுடன் ஒப்பிடும்போது, TaC ஹீட்டர்கள் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் சீரான தன்மையை வழங்கலாம், மின் நுகர்வு குறைக்கலாம் மற்றும் மேற்பரப்பு உமிழ்வைக் குறைக்கலாம், இதன் மூலம் ஒருமைப்பாட்டை மேம்படுத்தலாம்.

5. வேஃபர் கேரியர்கள்

SiC, AIN மற்றும் GaN போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களை தயாரிப்பதில் TaC- பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. என்ற அரிப்பு விகிதம் இருப்பதாக ஆய்வுகள் தெரிவிக்கின்றனTaC பூச்சுகள்உயர் வெப்பநிலை அம்மோனியா மற்றும் ஹைட்ரஜன் சூழல்களில் இருப்பதை விட மிகக் குறைவாக உள்ளதுSiC பூச்சுகள், இது நீண்ட கால பயன்பாட்டில் சிறந்த நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் நீடித்த தன்மையைக் காட்ட வைக்கிறது.

முந்தைய:TaC பூச்சு கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது? - VeTek செமிகண்டக்டர்

அடுத்தது:SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் ஏன் தோல்வியடைகிறது? - VeTek செமிகண்டக்டர்