TaC பூச்சு கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது? - VeTek செமிகண்டக்டர்

CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுVeTek செமிகண்டக்டரின் தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது.

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றனகிராஃபைட் பாகங்கள்பல வழிமுறைகள் மூலம், குறிப்பாக உயர்-வெப்பநிலை, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் படிக வளர்ச்சி போன்ற அதிக அரிக்கும் சூழல்களில். 

அதற்கான குறிப்பிட்ட காரணங்கள் இங்கே உள்ளனTaC பூச்சுகள்கிராஃபைட் பாகங்களின் ஆயுளை அதிகரிக்க:

●  மேம்படுத்தப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

மிக அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை: TaC பூச்சுகள் 2000°C க்கும் அதிகமான அதிக வெப்பநிலையில் நிலையாக இருக்க முடியும் மற்றும் 2200C இல் கூட திறம்பட செயல்பட முடியும். இந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் போது உருகிய உலோகங்கள் மற்றும் இரசாயன வாயுக்களின் அரிப்பை பூச்சு தாங்க அனுமதிக்கிறது, இதன் மூலம் கிராஃபைட் பாகங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

●  சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு: ஹைட்ரஜன், அம்மோனியா மற்றும் சிலிக்கான் நீராவி போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு TaC பூச்சுகள் வலுவான எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, இது இந்த வாயுக்கள் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை அரிப்பதைத் தடுக்கும் மற்றும் கடுமையான சூழலில் கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு சேதம் விளைவிக்கும் அபாயத்தைக் குறைக்கும். இதன் பொருள் படிக வளர்ச்சியின் போது, ​​பூச்சு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வைத் தடுக்கும் மற்றும் படிக தரம் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்தும்.

●  மேம்படுத்தப்பட்ட இயந்திர பண்புகள்

நல்ல ஒட்டுதல் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: TaC பூச்சுகள் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் வலுவான ஒட்டுதலைக் கொண்டுள்ளன, உயர் வெப்பநிலை செயல்பாடுகளின் போது பூச்சு உரிக்கப்படாமல் அல்லது சிதைந்து போகாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, அதன் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு, விரிசல் அல்லது உரித்தல் இல்லாமல் விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களைத் தாங்கும், மேலும் கிராஃபைட் பாகங்களின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

●  அசுத்தமான மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும்

அல்ட்ரா-ஹை தூய்மை: TaC பூச்சுகள் மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளன, இது அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் ஏற்படக்கூடிய மாசு சிக்கல்களைக் குறைக்க உதவுகிறது. தேவையற்ற அசுத்தங்கள் எபிடாக்சியல் அடுக்குக்கு இடம்பெயர்வதைத் தடுப்பதன் மூலம், TaC பூச்சுகள் படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.

●  வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்தவும்

வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் எதிர்ப்பை மேம்படுத்துதல்: TaC பூச்சுகள் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, இது ஆற்றல் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆற்றல் இழப்பைக் குறைப்பதற்கும் ஹீட்டர்கள் மற்றும் பிற வெப்ப மேலாண்மை கூறுகளில் அதன் பயன்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இந்த அம்சம் இயக்க செயல்திறனை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், பொருள் சோர்வு மற்றும் அதிக வெப்பத்தால் ஏற்படும் சேதத்தையும் குறைக்கிறது.