டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட் அதன் அதி உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு (சுமார் 3880 டிகிரி செல்சியஸ் உருகுநிலை), சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, இயந்திர வலிமை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் இரசாயன செயலற்ற தன்மை காரணமாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகமாக மாறியுள்ளது. வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருள். குறிப்பாக, அதன் நுண்துளை அமைப்பு பல தொழில்நுட்ப நன்மைகளை வழங்குகிறதுபடிக வளர்ச்சி செயல்முறை. 

பின்வருபவை விரிவான பகுப்பாய்வு ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்முக்கிய பங்கு:

● எரிவாயு ஓட்டத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துதல்

நுண்துளை கிராஃபைட்டின் நுண்துளை அமைப்பு எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை ஊக்குவிக்கும் (கார்பைடு வாயு மற்றும் நைட்ரஜன் போன்றவை), அதன் மூலம் எதிர்வினை மண்டலத்தில் வளிமண்டலத்தை மேம்படுத்துகிறது. இந்த பண்பு உள்ளூர் வாயு குவிப்பு அல்லது கொந்தளிப்பு பிரச்சனைகளை திறம்பட தவிர்க்கலாம், வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும் SiC படிகங்கள் சமமாக அழுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்து, குறைபாடு விகிதம் வெகுவாகக் குறைக்கப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், நுண்துளை அமைப்பு வாயு அழுத்த சாய்வுகளின் துல்லியமான சரிசெய்தலை அனுமதிக்கிறது, மேலும் படிக வளர்ச்சி விகிதங்களை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் தயாரிப்பு நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

●  வெப்ப அழுத்தக் குவிப்பைக் குறைத்து, படிக ஒருமைப்பாட்டை மேம்படுத்தவும்

உயர்-வெப்பநிலை செயல்பாடுகளில், போரஸ் டான்டலம் கார்பைடின் (TaC) மீள் பண்புகள் வெப்பநிலை வேறுபாடுகளால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்த செறிவுகளைக் கணிசமாகக் குறைக்கின்றன. SiC படிகங்களை வளர்க்கும் போது இந்த திறன் மிகவும் முக்கியமானது, வெப்ப விரிசல் உருவாகும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இதனால் படிக கட்டமைப்பின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயலாக்க நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

●  வெப்ப விநியோகத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் ஆற்றல் பயன்பாட்டு செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு நுண்துளை கிராஃபைட்டுக்கு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குவது மட்டுமல்லாமல், அதன் நுண்ணிய பண்புகள் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க முடியும், இது எதிர்வினை பகுதிக்குள் மிகவும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. இந்த சீரான வெப்ப மேலாண்மை உயர்-தூய்மை SiC படிகத்தை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய நிபந்தனையாகும். இது வெப்பமூட்டும் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம், ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கலாம் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறையை மிகவும் சிக்கனமாகவும் திறமையாகவும் செய்யலாம்.

●  அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்தவும் மற்றும் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்

அதிக வெப்பநிலை சூழலில் வாயுக்கள் மற்றும் துணை தயாரிப்புகள் (ஹைட்ரஜன் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு நீராவி கட்டம் போன்றவை) பொருட்களுக்கு கடுமையான அரிப்பை ஏற்படுத்தும். TaC பூச்சு நுண்ணிய கிராஃபைட்டுக்கு ஒரு சிறந்த இரசாயனத் தடையை வழங்குகிறது, கூறுகளின் அரிப்பு விகிதத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. கூடுதலாக, பூச்சு நுண்ணிய கட்டமைப்பின் நீண்ட கால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, எரிவாயு போக்குவரத்து பண்புகள் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

●  அசுத்தங்களின் பரவலை திறம்பட தடுக்கிறது மற்றும் படிக தூய்மையை உறுதி செய்கிறது

பூசப்படாத கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸ் அசுத்தங்களின் சுவடு அளவுகளை வெளியிடலாம், மேலும் TaC பூச்சு இந்த அசுத்தங்கள் உயர் வெப்பநிலை சூழலில் SiC படிகத்திற்குள் பரவுவதைத் தடுக்க ஒரு தனிமைத் தடையாக செயல்படுகிறது. படிகத் தூய்மையை மேம்படுத்துவதற்கும் உயர்தர SiC பொருட்களுக்கான குறைக்கடத்தித் துறையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கும் இந்த பாதுகாப்பு விளைவு முக்கியமானது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட், வாயு ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல், வெப்ப அழுத்தத்தை குறைத்தல், வெப்ப சீரான தன்மையை மேம்படுத்துதல், அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துதல் மற்றும் SiC படிக வளர்ச்சியின் போது தூய்மையற்ற பரவலைத் தடுப்பதன் மூலம் செயல்முறை திறன் மற்றும் படிக தரத்தை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இந்த பொருளின் பயன்பாடு உற்பத்தியில் அதிக துல்லியம் மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்வது மட்டுமல்லாமல், இயக்க செலவுகளை வெகுவாகக் குறைக்கிறது, இது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய தூணாக அமைகிறது.

மிக முக்கியமாக, VeTeksemi செமிகண்டக்டர் உற்பத்தித் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதற்கு நீண்ட காலமாக உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட் தயாரிப்பு சேவைகளை ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் உண்மையாக காத்திருக்கிறோம்.

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

VeTek குறைக்கடத்தி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட் உற்பத்தி கடைகள்