ALD அணு அடுக்கு படிவு செய்முறை

இடஞ்சார்ந்த ALD, விண்வெளியில் தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அணு அடுக்கு படிவு. செதில் வெவ்வேறு நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்கிறது மற்றும் ஒவ்வொரு நிலையிலும் வெவ்வேறு முன்னோடிகளுக்கு வெளிப்படும். கீழே உள்ள படம் பாரம்பரிய ALD மற்றும் இடஞ்சார்ந்த தனிமைப்படுத்தப்பட்ட ALD ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான ஒப்பீடு ஆகும்.

தற்காலிக ALD,தற்காலிகமாக தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அணு அடுக்கு படிவு. செதில் சரி செய்யப்பட்டது மற்றும் முன்னோடிகள் மாறி மாறி அறிமுகப்படுத்தப்பட்டு அறையில் அகற்றப்படுகின்றன. இந்த முறையானது செதில்களை மிகவும் சமநிலையான சூழலில் செயலாக்க முடியும், இதன் மூலம் முக்கியமான பரிமாணங்களின் வரம்பின் சிறந்த கட்டுப்பாடு போன்ற முடிவுகளை மேம்படுத்துகிறது. கீழே உள்ள படம் டெம்போரல் ALD இன் திட்ட வரைபடமாகும்.

ஸ்டாப் வால்வு, மூடு வால்வு. பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது，செய்முறைகள், வெற்றிட பம்பிற்கு வால்வை மூட அல்லது வெற்றிட பம்பிற்கு நிறுத்த வால்வை திறக்க பயன்படுகிறது.

முன்னோடி, முன்னோடி. இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்டவை, ஒவ்வொன்றும் விரும்பிய டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் கூறுகளைக் கொண்டவை, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மாறி மாறி உறிஞ்சப்படுகின்றன, ஒரு நேரத்தில் ஒரே ஒரு முன்னோடி, ஒன்றுக்கொன்று சார்பற்றது. ஒவ்வொரு முன்னோடியும் ஒரு மோனோலேயரை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை நிறைவு செய்கிறது. முன்னோடியை கீழே உள்ள படத்தில் காணலாம்.

சுத்திகரிப்பு, சுத்திகரிப்பு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. பொதுவான சுத்திகரிப்பு வாயு, சுத்திகரிப்பு வாயு.அணு அடுக்கு படிவுஒவ்வொரு எதிர்வினையின் சிதைவு மற்றும் உறிஞ்சுதலின் மூலம் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குவதற்கு இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட எதிர்வினைகளை ஒரு எதிர்வினை அறைக்குள் வரிசையாக வைப்பதன் மூலம் மெல்லிய படலங்களை அணு அடுக்குகளில் வைப்பதற்கான ஒரு முறையாகும். அதாவது, அறைக்குள் வேதியியல் ரீதியாக வைப்பதற்கு முதல் எதிர்வினை வாயு துடிப்பு முறையில் வழங்கப்படுகிறது, மேலும் உடல் ரீதியாக பிணைக்கப்பட்ட எஞ்சிய முதல் எதிர்வினை வாயு சுத்திகரிப்பு மூலம் அகற்றப்படுகிறது. பின்னர், இரண்டாவது எதிர்வினை வாயுவும், துடிப்பு மற்றும் சுத்திகரிப்பு செயல்முறையின் மூலம் முதல் எதிர்வினை வாயுவுடன் ஒரு இரசாயன பிணைப்பை உருவாக்குகிறது, இதன் மூலம் தேவையான படத்தை அடி மூலக்கூறில் வைக்கிறது. சுத்திகரிப்பு கீழே உள்ள படத்தில் காணலாம்.

சுழற்சி. அணு அடுக்கு படிவு செயல்பாட்டில், ஒவ்வொரு எதிர்வினை வாயுவும் ஒரு முறை துடிப்பு மற்றும் சுத்திகரிக்கப்பட்ட நேரம் சுழற்சி என்று அழைக்கப்படுகிறது.

அணு அடுக்கு எபிடாக்ஸி.அணு அடுக்கு படிவுக்கான மற்றொரு சொல்.

டிரிமெதிலாலுமினியம், டிஎம்ஏ என சுருக்கமாக, டிரைமெதிலாலுமினியம். அணு அடுக்கு படிவில், டிஎம்ஏ பெரும்பாலும் Al2O3 உருவாக்க முன்னோடியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாக, TMA மற்றும் H2O ஆகியவை Al2O3 ஐ உருவாக்குகின்றன. கூடுதலாக, TMA மற்றும் O3 ஆகியவை Al2O3 ஐ உருவாக்குகின்றன. கீழே உள்ள படம், டிஎம்ஏ மற்றும் எச்2ஓவை முன்னோடிகளாகப் பயன்படுத்தி, அல்2ஓ3 அணு அடுக்கு படிவுக்கான திட்ட வரைபடமாகும்.

3-Aminopropyltriethoxysilane, APTES என குறிப்பிடப்படுகிறது, 3-aminopropyltrimethoxysilane. இல்அணு அடுக்கு படிவு, APTES பெரும்பாலும் SiO2 ஐ உருவாக்க முன்னோடியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாக, APTES, O3 மற்றும் H2O ஆகியவை SiO2 ஐ உருவாக்குகின்றன. கீழே உள்ள படம் APTES இன் திட்ட வரைபடமாகும்.