செமிகண்டக்டருக்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட் என்பது செதில் கையாளும் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்தர, அதி-தூய கிராஃபைட் கேரியர் ஆகும். எங்கள் கேரியர்கள் சிறந்த செயல்திறன் கொண்டவை மற்றும் கடுமையான சூழல்கள், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன துப்புரவு நிலைகளில் சிறப்பாக செயல்பட முடியும். எங்கள் தயாரிப்புகள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, செமிகண்டக்டருக்கான உயர்தர PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட்டை உங்களுக்கு வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகண்டக்டருக்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட் என்பது பிளாஸ்மா சோர்ஸ் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (PSS) செதுக்குதல் செயல்முறைக்கு குறைக்கடத்தி துறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும். செதுக்கும் செயல்பாட்டின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை தாங்கி எடுத்துச் செல்வதில் இந்தத் தட்டு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்!
துல்லிய வடிவமைப்பு: செமிகண்டக்டர் செதில்கள் முழுவதும் சீரான மற்றும் சீரான பொறிப்பை உறுதி செய்வதற்காக கேரியர் தகடு துல்லியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மையுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது செதில்களுக்கான நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தளத்தை வழங்குகிறது, இது துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான செதுக்கல் முடிவுகளை அனுமதிக்கிறது.
பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு: பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மாவுக்கு கேரியர் தட்டு சிறந்த எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. இது எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மாவால் பாதிக்கப்படாமல் உள்ளது, நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: கேரியர் தட்டு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது செதுக்கும் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தை திறமையாக வெளியேற்றுகிறது. இது உகந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்கள் அதிக வெப்பமடைவதை தடுக்கிறது.
இணக்கத்தன்மை: PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட், தொழில்துறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செதில் அளவுகளுடன் இணக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது பல்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பல்துறை மற்றும் பயன்பாட்டின் எளிமையை உறுதி செய்கிறது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |