SiC பூசப்பட்ட ICP எட்ச்சிங் கேரியர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர் மிகவும் தேவைப்படும் எபிடாக்ஸி உபகரணப் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்தர அல்ட்ரா-தூய கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது, எங்கள் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர் மிகவும் தட்டையான மேற்பரப்பு மற்றும் கையாளுதலின் போது கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கேரியரின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிறந்த செதுக்கல் முடிவுகளுக்கு சமமான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுடன் ஒரு நீண்ட கால கூட்டாண்மையை உருவாக்க எதிர்நோக்குகிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

உற்பத்தியில் பல வருட அனுபவத்துடன் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர், VeTek செமிகண்டக்டர் பரந்த அளவில் வழங்க முடியும்SiC பூசப்பட்டதுஅல்லதுTaC பூசப்பட்டதுகுறைக்கடத்தி தொழிலுக்கான உதிரி பாகங்கள். கீழேயுள்ள தயாரிப்புப் பட்டியலைத் தவிர, உங்களின் தனிப்பட்ட SiC பூசப்பட்ட அல்லது TaC பூசப்பட்ட பாகங்களை உங்கள் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர், ICP கேரியர்கள், PSS கேரியர்கள், RTP கேரியர்கள் அல்லது RTP கேரியர்கள் என்றும் அழைக்கப்படும், இது குறைக்கடத்தி துறையில் பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமான கூறுகளாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இந்த தற்போதைய கேரியர்களை தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் முதன்மைப் பொருள். இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது சபையர் அடி மூலக்கூறின் வெப்ப கடத்துத்திறனை விட 10 மடங்கு அதிகமாகும். இந்த பண்பு, அதன் உயர் ரோலர் மின்சார புல வலிமை மற்றும் அதிகபட்ச மின்னோட்ட அடர்த்தியுடன் இணைந்து, சிலிக்கான் கார்பைடை பல்வேறு பயன்பாடுகளில், குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் உயர்-சக்தி கூறுகளில் சிலிக்கானுக்கான சாத்தியமான மாற்றாக ஆய்வு செய்ய தூண்டியது. SiC தற்போதைய கேரியர் தகடுகள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டவை, அவை சிறந்தவைLED உற்பத்தி செயல்முறைகள்.

அவை திறமையான வெப்பச் சிதறலை உறுதிசெய்து சிறந்த மின் கடத்துத்திறனை வழங்குகின்றன, அதிக சக்தி கொண்ட லெட்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கின்றன. கூடுதலாக, இந்த கேரியர் தட்டுகள் சிறந்தவைபிளாஸ்மா எதிர்ப்புமற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, கோரும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழலில் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் வாழ்க்கை உறுதி.

SiC பூசப்பட்ட ICP எட்ச்சிங் கேரியரின் தயாரிப்பு அளவுரு:

அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்CVD SiC பூச்சு
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர்SiC பூசப்பட்ட ICP எட்ச்சிங் கேரியர்உற்பத்தி கடை：

SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

semiconductor chip epitaxy industry chain

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூசப்பட்ட ICP எட்ச்சிங் கேரியர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை