சீனா SiC ஒற்றை கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி செயல்முறை உதிரி பாகங்கள் உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை

VeTek செமிகண்டக்டரின் தயாரிப்பு, SiC சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கான டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு தயாரிப்புகள், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களின் வளர்ச்சி இடைமுகத்துடன் தொடர்புடைய சவால்களை நிவர்த்தி செய்கிறது, குறிப்பாக படிகத்தின் விளிம்பில் ஏற்படும் விரிவான குறைபாடுகள். TaC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதையும், வேகமான மற்றும் அடர்த்தியான வளர்ச்சியை அடைவதற்கு முக்கியமானதாக இருக்கும் படிக மையத்தின் பயனுள்ள பகுதியை அதிகரிப்பதையும் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.

TaC பூச்சு என்பது உயர்தர SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்ப தீர்வாகும். ரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை வெற்றிகரமாக உருவாக்கியுள்ளோம், இது சர்வதேச அளவில் மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது. TaC ஆனது 3880°C வரையிலான உயர் உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு உள்ளிட்ட விதிவிலக்கான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலிக்கான் கொண்ட நீராவி போன்ற பொருட்களுக்கு வெளிப்படும் போது நல்ல இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு, SiC ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் விளிம்பு தொடர்பான சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதற்கு ஒரு தீர்வை வழங்குகிறது, இது வளர்ச்சி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. எங்களின் மேம்பட்ட TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை ஆதரிப்பதையும், இறக்குமதி செய்யப்பட்ட முக்கிய பொருட்களைச் சார்ந்திருப்பதைக் குறைப்பதையும் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.

PVT முறை SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறை உதிரி பாகங்கள்:

TaC கோடட் க்ரூசிபிள், TaC பூச்சு கொண்ட விதை வைத்திருப்பவர், TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் ஆகியவை SiC மற்றும் AIN ஒற்றை படிக உலைகளில் PVT முறையின் முக்கிய பாகங்களாகும்.

முக்கிய அம்சம்:

- அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

-அதிக தூய்மை, SiC மூலப்பொருட்கள் மற்றும் SiC ஒற்றை படிகங்களை மாசுபடுத்தாது.

அல் நீராவி மற்றும் N₂ அரிப்பை எதிர்க்கும்

படிக தயாரிப்பு சுழற்சியைக் குறைக்க உயர் யூடெக்டிக் வெப்பநிலை (AlN உடன்).

-மறுசுழற்சி செய்யக்கூடியது (200h வரை), இது போன்ற ஒற்றை படிகங்களை தயாரிப்பதில் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

TaC பூச்சு பண்புகள்

டாக் பூச்சுகளின் வழக்கமான இயற்பியல் பண்புகள்

டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட மாற்று வளையம் TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் TaC பூச்சு வளையம் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு TaC பூசப்பட்ட துண்டு TaC பூச்சு குழாய்