VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத் துறையில் உங்கள் புதுமையான பங்குதாரர். செமிகண்டக்டர்-கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸ் மெட்டீரியல் காம்பினேஷன்கள், உதிரிபாக உற்பத்தி திறன்கள் மற்றும் பயன்பாட்டு பொறியியல் சேவைகள் ஆகியவற்றின் விரிவான போர்ட்ஃபோலியோ மூலம், குறிப்பிடத்தக்க சவால்களை சமாளிக்க நாங்கள் உங்களுக்கு உதவ முடியும். பொறியியல் தொழில்நுட்ப சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அவற்றின் விதிவிலக்கான பொருள் செயல்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தின் முழு சுழற்சியிலும் அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
VeTek செமிகண்டக்டர் குறிப்பாக தொகுதி பரவல் மற்றும் LPCVD தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட பொறிக்கப்பட்ட மட்பாண்ட கூறுகளை வழங்குகிறது:
• தடைகள் & வைத்திருப்பவர்கள்
• உட்செலுத்திகள்
• லைனர்கள் & செயல்முறை குழாய்கள்
• சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்புகள்
• வேஃபர் படகுகள் மற்றும் பீடங்கள்
SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு SiC செயல்முறை குழாய்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு செயல்முறை குழாய் SiC செங்குத்து செதில் படகு SiC கிடைமட்ட செதில் படகு SiC கிடைமட்ட குவாயர் செதில் படகு SiC LPCVD செதில் படகு SiC கிடைமட்ட தட்டு படகு SiC சுற்று செதில் படகு
பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் கடுமைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கூறுகள் மூலம் மாசுபடுதல் மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறைக்கவும்:
ஃபோகஸ் மோதிரங்கள்
முனைகள்
கேடயங்கள்
ஷவர்ஹெட்ஸ்
விண்டோஸ் / மூடிகள்
பிற தனிப்பயன் கூறுகள்
VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவாறு மேம்பட்ட பொருள் கூறுகளை வழங்குகிறது. இந்த பயன்பாடுகள் RTP, Epi செயல்முறைகள், பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. எங்கள் தொழில்நுட்ப மட்பாண்டங்கள் வெப்ப அதிர்ச்சிகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்திறனை வழங்குகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரின் கூறுகள் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் திறமையான மற்றும் உயர்தர வெப்ப செயலாக்கத்தை அடைய முடியும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒட்டுமொத்த வெற்றிக்கு பங்களிக்கிறது.
• டிஃப்பியூசர்கள்
• இன்சுலேட்டர்கள்
• Susceptors
• பிற தனிப்பயன் வெப்ப கூறுகள்
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
வேலை வெப்பநிலை (°C) | 1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
SiC / SiC உள்ளடக்கம் | > 99.96% |
Si / இலவச Si உள்ளடக்கம் | < 0.1% |
மொத்த அடர்த்தி | 2.60-2.70 g/cm3 |
வெளிப்படையான போரோசிட்டி | < 16% |
சுருக்க வலிமை | > 600 MPa |
குளிர் வளைக்கும் வலிமை | 80-90 MPa (20°C) |
Hot bending strength | 90-100 MPa (1400°C) |
வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C | 4.70 10-6/°C |
வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C | 23 W/m•K |
மீள் குணகம் | 240 GPa |
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | மிகவும் நல்லது |
VeTek செமிகண்டக்டரின் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இயந்திர வலிமை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் மிகவும் தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் ஆனது. உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு வெப்ப மண்டலப் பயன்பாடுகளில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில், மேலும் செதில்களைப் பாதுகாப்பதிலும், பொருட்களைக் கொண்டு செல்வதிலும் மற்றும் நிலையான செயல்முறைகளைப் பராமரிப்பதிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகின் செயல்திறனை புதுமைப்படுத்தவும் மேம்படுத்தவும் தொடர்ந்து கடினமாக உழைக்கும். சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், இது கிரிஸ்டல் வளர்ச்சிக்காக உயர்தர அல்ட்ரா தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பவுடரை வழங்க அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. 99.999% wt வரை தூய்மை மற்றும் நைட்ரஜன், போரான், அலுமினியம் மற்றும் பிற அசுத்தங்களின் மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற அளவுகளுடன், இது உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அரை-இன்சுலேடிங் பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்களுடன் விசாரிக்கவும் ஒத்துழைக்கவும் வரவேற்கிறோம்!
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு