தயாரிப்புகள்
CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்
  • CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்

CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர் மற்றும் CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்க்களின் சப்ளையர் ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் துறையில் உயர் செயல்திறன், உயர் நம்பகத்தன்மை கொண்ட தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள் மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன, சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை குறைக்கடத்தி லித்தோகிராஃபி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உங்கள் விசாரணைகள் எப்போதும் வரவேற்கப்படுகின்றன.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

நவீன மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் தகவல் தொழில்நுட்பத்தின் அடித்தளமாக, குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் இன்றைய சமூகத்தின் தவிர்க்க முடியாத பகுதியாக மாறிவிட்டது. ஸ்மார்ட்போன்கள் முதல் கணினிகள், தகவல் தொடர்பு சாதனங்கள், மருத்துவ உபகரணங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் வரை, கிட்டத்தட்ட அனைத்து நவீன தொழில்நுட்பங்களும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தி மற்றும் பயன்பாட்டை நம்பியுள்ளன.


மின்னணு சாதனங்களின் செயல்பாட்டு ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் செயல்திறனுக்கான தேவைகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், குறைக்கடத்தி செயல்முறை தொழில்நுட்பமும் தொடர்ந்து உருவாகி மேம்படுத்தப்பட்டு வருகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில் முக்கிய இணைப்பாக, பொறித்தல் செயல்முறை நேரடியாக சாதனத்தின் கட்டமைப்பு மற்றும் பண்புகளை தீர்மானிக்கிறது.


செமிகண்டக்டரின் மேற்பரப்பில் உள்ள பொருளைத் துல்லியமாக அகற்ற அல்லது சரிசெய்ய, விரும்பிய அமைப்பு மற்றும் சுற்று வடிவத்தை உருவாக்க பொறித்தல் செயல்முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த கட்டமைப்புகள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் செயல்பாட்டை தீர்மானிக்கின்றன. பொறித்தல் செயல்முறையானது நானோமீட்டர் அளவிலான துல்லியத்தை அடைய முடியும், இது அதிக அடர்த்தி, உயர் செயல்திறன் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை (ICs) தயாரிப்பதற்கான அடிப்படையாகும்.


CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது உலர் எச்சிங்கில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது செதில் மேற்பரப்பில் அதிக அடர்த்தி மற்றும் ஆற்றலைக் கொண்டிருப்பதற்காக பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்தப் பயன்படுகிறது. இது வாயுவை சமமாக விநியோகிக்கும் செயல்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், CVD செயல்முறை மூலம் SiC லேயர் லேயர் செய்து இறுதியாக CVD SiC ஃபோகஸ் வளையத்தைப் பெறுகிறது. தயாரிக்கப்பட்ட CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் பொறித்தல் செயல்முறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும்.


CVD SiC Focus Ring working diagram

CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் இயந்திர பண்புகள், இரசாயன பண்புகள், வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அயன் பொறித்தல் எதிர்ப்பு போன்றவற்றில் சிறந்தது.


● அதிக அடர்த்தி செதுக்கல் அளவைக் குறைக்கிறது

● அதிக பேண்ட் இடைவெளி மற்றும் சிறந்த காப்பு

● அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த விரிவாக்க குணகம் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு

● உயர் நெகிழ்ச்சி மற்றும் நல்ல இயந்திர தாக்க எதிர்ப்பு

● அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு


VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் முன்னணி CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் செயலாக்க திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. இதற்கிடையில், VeTek செமிகண்டக்டரின் முதிர்ந்த தொழில்நுட்பக் குழு மற்றும் விற்பனைக் குழு ஆகியவை வாடிக்கையாளர்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமான ஃபோகஸ் ரிங் தயாரிப்புகளை வழங்க உதவுகின்றன. VeTek செமிகண்டக்டரைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது அதன் எல்லைகளைத் தள்ள உறுதிபூண்டுள்ள நிறுவனத்துடன் கூட்டுசேர்வதைக் குறிக்கிறதுசிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடு புதுமை.


தரம், செயல்திறன் மற்றும் வாடிக்கையாளர் திருப்தி ஆகியவற்றிற்கு வலுவான முக்கியத்துவம் கொடுத்து, செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல் அதை மீறும் தயாரிப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம். எங்களின் மேம்பட்ட  CVD சிலிக்கான் கார்பைடு தீர்வுகள் மூலம் உங்கள் செயல்பாடுகளில் அதிக செயல்திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் வெற்றியை அடைய உதவுவோம்.


CVD SIC திரைப்படத்தின் SEM தரவு

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி
3.21 g/cm³
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு
2~10μm
இரசாயன தூய்மை
99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700℃
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
4.5×10-6K-1

VeTek செமிகண்டக்டர்CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் தயாரிப்பு கடைகள்:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது
தொடர்புடைய வகை
விசாரணையை அனுப்பு
தயவுசெய்து உங்கள் விசாரணையை கீழே உள்ள படிவத்தில் கொடுக்க தயங்க வேண்டாம். நாங்கள் உங்களுக்கு 24 மணி நேரத்தில் பதிலளிப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept