முன் வெப்ப வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள SiC பூச்சு உற்பத்தியாளரின் ஒரு கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் முன்-ஹீட் ரிங் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரே மாதிரியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் உயர்தர கிராஃபைட் மூலப்பொருட்கள், நிலையான படிவுகளை உறுதிசெய்து, எபிடாக்சியல் லேயரின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் நீண்ட கால ஒத்துழைப்பை அமைப்பதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

ப்ரீ-ஹீட் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்சியல் (EPI) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய கருவியாகும். இது EPI செயல்முறைக்கு முன் செதில்களை முன்கூட்டியே சூடாக்கப் பயன்படுகிறது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முழுவதும் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரால் தயாரிக்கப்பட்டது, எங்கள் EPI Pre Heat Ring பல குறிப்பிடத்தக்க அம்சங்களையும் நன்மைகளையும் வழங்குகிறது. முதலாவதாக, இது உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டுள்ளது, இது செதில் மேற்பரப்பில் விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை அனுமதிக்கிறது. இது ஹாட்ஸ்பாட்கள் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை உருவாக்குவதைத் தடுக்கிறது, நிலையான படிவுகளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

கூடுதலாக, எங்கள் EPI Pre Heat Ring ஆனது மேம்பட்ட வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது வெப்பத்திற்கு முந்தைய வெப்பநிலையின் துல்லியமான மற்றும் நிலையான கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இந்த அளவிலான கட்டுப்பாடு, EPI செயல்பாட்டின் போது படிக வளர்ச்சி, பொருள் படிவு மற்றும் இடைமுக எதிர்வினைகள் போன்ற முக்கியமான படிகளின் துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவை எங்கள் தயாரிப்பு வடிவமைப்பின் இன்றியமையாத அம்சங்களாகும். EPI ப்ரீ ஹீட் ரிங் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இயக்க அழுத்தங்களை தாங்கும் வகையில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது, நீண்ட காலத்திற்கு நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு அணுகுமுறை பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளை குறைக்கிறது, நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

EPI ப்ரீ ஹீட் ரிங் இன் நிறுவல் மற்றும் செயல்பாடு நேரடியானது, ஏனெனில் இது பொதுவான EPI உபகரணங்களுடன் இணக்கமாக உள்ளது. இது பயனர்-நட்பு செதில் வேலை வாய்ப்பு மற்றும் மீட்டெடுக்கும் பொறிமுறையைக் கொண்டுள்ளது, இது வசதி மற்றும் செயல்பாட்டுத் திறனை மேம்படுத்துகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரில், குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். தனித்துவமான உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்ப EPI Pre Heat Ring இன் அளவு, வடிவம் மற்றும் வெப்பநிலை வரம்பைத் தையல்படுத்துவது இதில் அடங்கும்.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் ஈடுபட்டுள்ள ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு, VeTek செமிகண்டக்டரின் EPI Pre Heat Ring விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது. உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதிலும் திறமையான குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தி செயல்முறைகளை எளிதாக்குவதிலும் இது ஒரு முக்கியமான கருவியாக செயல்படுகிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1