Vetek செமிகண்டக்டர் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங்கிற்கான பெஸ்போக் வடிவமைப்புகளை உருவாக்க வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக ஒத்துழைப்பதில் சிறந்து விளங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் CVD SiC உபகரணங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி போன்ற பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. வடிவமைக்கப்பட்ட SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் தீர்வுகளுக்கு, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உதவிக்கு Vetek செமிகண்டக்டரை அணுக தயங்க வேண்டாம்.
சீன உற்பத்தியாளர் Vetek செமிகண்டக்டர் மூலம் உயர்தர SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் வழங்கப்படுகிறது. குறைந்த விலையில் நேரடியாக உயர் தரத்தில் இருக்கும் SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் வாங்கவும்.
மூன்றாம் தலைமுறை SiC-CVD அமைப்புகளுக்கு SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் போன்ற SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை மையமாகக் கொண்டு, குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு ஏற்றவாறு மேம்பட்ட மற்றும் போட்டித் தயாரிப்பு உபகரணங்களை வழங்குவதில் Vetek செமிகண்டக்டர் நிபுணத்துவம் பெற்றது. இந்த அமைப்புகள் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளில் சீரான ஒற்றை கிரிஸ்டல் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியை எளிதாக்குகின்றன, இது Schottky diodes, IGBTs, MOSFETகள் மற்றும் பல்வேறு மின்னணு பாகங்கள் போன்ற சக்தி சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு அவசியமானது.
SiC-CVD உபகரணங்கள் செயல்முறை மற்றும் உபகரணங்களை தடையின்றி ஒன்றிணைக்கிறது, அதிக உற்பத்தி திறன், 6/8-அங்குல செதில்களுடன் இணக்கம், செலவு திறன், பல உலைகளில் தொடர்ச்சியான தானியங்கி வளர்ச்சி கட்டுப்பாடு, குறைந்த குறைபாடு விகிதங்கள் மற்றும் வசதியான பராமரிப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை வழங்குகிறது. மற்றும் ஓட்டம் துறையில் கட்டுப்பாடு வடிவமைப்புகள். எங்கள் SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் உடன் இணைந்தால், அது உபகரண உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்கிறது, செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் செலவுகளை திறம்பட நிர்வகிக்கிறது.
Vetek செமிகண்டக்டரின் SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் உயர் தூய்மை, நிலையான கிராஃபைட் பண்புகள், துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் CVD SiC பூச்சுகளின் கூடுதல் நன்மை ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, தீவிர சூழல்களில் வெப்பம் மற்றும் இரசாயன அரிப்பு ஆகியவற்றிலிருந்து அடி மூலக்கூறுகளை பாதுகாக்கிறது. இந்த பூச்சுகள் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, நீட்டிக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறு ஆயுட்காலம், பல்வேறு இரசாயனங்களுக்கு எதிராக அரிப்பு எதிர்ப்பு, குறைக்கப்பட்ட இழப்புகளுக்கான குறைந்த உராய்வு குணகங்கள் மற்றும் திறமையான வெப்பச் சிதறலுக்கான மேம்பட்ட வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது. ஒட்டுமொத்தமாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் விரிவான பாதுகாப்பை வழங்குகின்றன, அடி மூலக்கூறு ஆயுளை நீட்டித்து செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |