உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி தயாரிப்பது மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் துணைப் பொருட்களைப் பொறுத்தது. தற்போது, மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஆகும். இது எபிடாக்சியல் ஃபிலிம் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு, குறைவான குறைபாடுகள், மிதமான வளர்ச்சி விகிதம், தானியங்கி செயல்முறை கட்டுப்பாடு போன்றவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வணிக ரீதியாக வெற்றிகரமாகப் பயன்படுத்தப்பட்ட நம்பகமான தொழில்நுட்பமாகும்.
சிலிக்கான் கார்பைடு CVD epitaxy பொதுவாக சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் CVD உபகரணங்களை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது உயர் வளர்ச்சி வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் (1500 ~ 1700℃), சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் CVD இன் பல வருட வளர்ச்சியின் படி, எபிடாக்ஸி லேயர் 4H படிக SiC இன் தொடர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. நுழைவாயில் காற்று ஓட்டம் திசை மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு இடையே உள்ள உறவு, எதிர்வினை அறையை கிடைமட்ட அமைப்பு உலை மற்றும் செங்குத்து அமைப்பு உலை என பிரிக்கலாம்.
SIC எபிடாக்சியல் உலையின் தரத்திற்கு மூன்று முக்கிய குறிகாட்டிகள் உள்ளன, முதலாவது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறன், தடிமன் சீரான தன்மை, ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, குறைபாடு விகிதம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் உட்பட; இரண்டாவது, வெப்பமூட்டும் / குளிரூட்டும் வீதம், அதிகபட்ச வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சீரான தன்மை உள்ளிட்ட உபகரணங்களின் வெப்பநிலை செயல்திறன் ஆகும்; இறுதியாக, ஒரு யூனிட்டின் விலை மற்றும் திறன் உட்பட உபகரணங்களின் செலவு செயல்திறன்.
ஹாட் வால் கிடைமட்ட CVD (LPE நிறுவனத்தின் வழக்கமான மாடல் PE1O6), வார்ம் வால் பிளானட்டரி CVD (வழக்கமான மாதிரி Aixtron G5WWC/G10) மற்றும் quasi-hot wall CVD (Nuflare நிறுவனத்தின் EPIREVOS6 பிரதிநிதித்துவம்) ஆகியவை முக்கிய எபிடாக்சியல் உபகரணங்களை உணரும் தொழில்நுட்ப தீர்வுகளாகும். இந்த கட்டத்தில் வணிக பயன்பாடுகளில். மூன்று தொழில்நுட்ப சாதனங்களும் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் தேவைக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம். அவற்றின் அமைப்பு பின்வருமாறு காட்டப்பட்டுள்ளது:
தொடர்புடைய முக்கிய கூறுகள் பின்வருமாறு:
(அ) சூடான சுவர் கிடைமட்ட வகை மையப் பகுதி- ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் உள்ளன
கீழ்நிலை காப்பு
முக்கிய காப்பு மேல்
மேல் பாதி நிலவு
அப்ஸ்ட்ரீம் இன்சுலேஷன்
மாற்றம் துண்டு 2
மாற்றம் துண்டு 1
வெளிப்புற காற்று முனை
குறுகலான ஸ்நோர்கெல்
வெளிப்புற ஆர்கான் வாயு முனை
ஆர்கான் வாயு முனை
செதில் ஆதரவு தட்டு
மையப்படுத்தும் முள்
மத்திய காவலர்
கீழ்நிலை இடது பாதுகாப்பு உறை
கீழ்நிலை வலது பாதுகாப்பு உறை
அப்ஸ்ட்ரீம் இடது பாதுகாப்பு கவர்
அப்ஸ்ட்ரீம் வலது பாதுகாப்பு உறை
பக்க சுவர்
கிராஃபைட் வளையம்
பாதுகாப்பு உணரப்பட்டது
ஆதரவு உணர்ந்தேன்
தொடர்பு தொகுதி
எரிவாயு கடையின் சிலிண்டர்
(ஆ) சூடான சுவர் கிரக வகை
SiC பூச்சு கிரக வட்டு &TaC பூசப்பட்ட கிரக வட்டு
(c)அரை வெப்ப சுவர் நிற்கும் வகை
Nuflare (ஜப்பான்): இந்த நிறுவனம் இரட்டை அறை செங்குத்து உலைகளை வழங்குகிறது, இது உற்பத்தி விளைச்சலை அதிகரிக்க உதவுகிறது. உபகரணமானது நிமிடத்திற்கு 1000 புரட்சிகள் வரை அதிவேக சுழற்சியைக் கொண்டுள்ளது, இது எபிடாக்சியல் சீரான தன்மைக்கு மிகவும் நன்மை பயக்கும். கூடுதலாக, அதன் காற்றோட்ட திசையானது மற்ற உபகரணங்களிலிருந்து வேறுபடுகிறது, செங்குத்தாக கீழ்நோக்கி இருப்பதால், துகள்களின் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் துகள்களின் துளிகள் செதில்களின் மீது விழும் நிகழ்தகவைக் குறைக்கிறது. இந்த சாதனத்திற்கான கோர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
SiC எபிடாக்சியல் உபகரணக் கூறுகளின் சப்ளையராக, VeTek செமிகண்டக்டர், SiC எபிடாக்சியை வெற்றிகரமாகச் செயல்படுத்துவதை ஆதரிக்கும் வகையில் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர பூச்சு கூறுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.
Vetek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC பூச்சு முனைகள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களை வைப்பதற்கு LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமான கூறுகளாகும். கடுமையான செயலாக்கச் சூழல்களில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக இந்த முனைகள் பொதுவாக உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக நிலையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. சீரான படிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளில் வளர்க்கப்படும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதில் அவை முக்கியப் பங்கு வகிக்கின்றன. உங்களுடன் நீண்ட கால ஒத்துழைப்பை அமைப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் வழங்கும் CVD SiC பூச்சுப் பாதுகாப்பாளரானது LPE SiC எபிடாக்ஸி ஆகும், "LPE" என்பது பொதுவாக குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவுகளில் (LPCVD) குறைந்த அழுத்த எபிடாக்ஸியை (LPE) குறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், LPE என்பது ஒற்றை படிக மெல்லிய படலங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கியமான செயல்முறை தொழில்நுட்பமாகும், இது பெரும்பாலும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அல்லது பிற குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுகிறது. மேலும் கேள்விகளுக்கு எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு, கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களில் TaC பூச்சு தயாரிப்பதில் தொழில்முறை. நாங்கள் OEM மற்றும் ODM தயாரிப்புகளான SiC கோடட் பீடஸ்டல், வேஃபர் கேரியர், வேஃபர் சக், வேஃபர் கேரியர் ட்ரே, பிளானட்டரி டிஸ்க் மற்றும் பலவற்றை வழங்குகிறோம். 1000 தர சுத்தமான அறை மற்றும் சுத்திகரிப்பு சாதனத்துடன், 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற தயாரிப்புகளை நாங்கள் உங்களுக்கு வழங்க முடியும். கேட்க ஆவலுடன் காத்திருக்கிறோம். விரைவில் உங்களிடமிருந்து.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங்கிற்கான பெஸ்போக் வடிவமைப்புகளை உருவாக்க வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக ஒத்துழைப்பதில் சிறந்து விளங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் CVD SiC உபகரணங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி போன்ற பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. வடிவமைக்கப்பட்ட SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் தீர்வுகளுக்கு, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உதவிக்கு Vetek செமிகண்டக்டரை அணுக தயங்க வேண்டாம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள SiC பூச்சு உற்பத்தியாளரின் ஒரு கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் முன்-ஹீட் ரிங் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரே மாதிரியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் உயர்தர கிராஃபைட் மூலப்பொருட்கள், நிலையான படிவுகளை உறுதிசெய்து, எபிடாக்சியல் லேயரின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் நீண்ட கால ஒத்துழைப்பை அமைப்பதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் முன்னணி EPI வேஃபர் லிஃப்ட் பின் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் SiC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். Epi செயல்முறைக்கு EPI Wafer Lift Pin ஐ வழங்குகிறோம். உயர் தரம் மற்றும் போட்டி விலையுடன், சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு