Aixtron MOCVD ஏற்பி

Susceptors தயாரித்ததுVetek செமிகண்டக்டர்கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுப் பொருட்களால் ஆனவை. அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் SiC பொருளின் மிக அதிக கடினத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொண்டு, கடுமையான செயல்முறை சூழல்களில் பயன்படுத்துவதற்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது. எனவே, Vetek செமிகண்டக்டரால் உற்பத்தி செய்யப்படும் சஸ்செப்டர்கள் கூடுதல் மேற்பரப்பு சிகிச்சை இல்லாமல் உயர் வெப்பநிலை MOCVD செயல்முறைகளில் நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், குறிப்பாக மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகளுக்கான MOCVD உபகரணங்களில், சஸ்செப்டர்கள் முக்கிய கூறுகளாகும். முக்கிய பாத்திரம்Aixtron SiC ரிசீவர்MOCVD செயல்பாட்டில், குறைக்கடத்தி செதில்களை எடுத்துச் செல்வது, சீரான வெப்ப விநியோகம் மற்றும் எதிர்வினை சூழலை வழங்குவதன் மூலம் மெல்லிய படங்களின் சீரான மற்றும் உயர்தர படிவுகளை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் உயர்தர மெல்லிய பட உற்பத்தியை அடைகிறது.

Aixtron MOCVD ஏற்பிபொதுவாக செமிகண்டக்டர் செதில்களின் அடித்தளத்தை ஆதரிக்கவும் சரிசெய்யவும் பயன்படுகிறது, இது படிவு செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது அதே நேரத்தில், Aixtron MOCVD சஸ்செப்டரின் மேற்பரப்பு பூச்சு சிலிக்கான் கார்பைடால் (SiC) ஆனது, இது அதிக வெப்பம் கடத்தும் பொருளாகும். SiC பூச்சு செதில்களின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்கிறது, மேலும் உயர்தர படங்களைப் பெறுவதற்கு சீரான வெப்பம் அவசியம்.

மேலும், திAixtron MOCVD ஏற்பிபொருட்களின் உகந்த வடிவமைப்பின் மூலம் எதிர்வினை வாயுக்களின் ஓட்டம் மற்றும் விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்துவதில் நாம் உற்பத்தி செய்வது அதிக பங்கு வகிக்கிறது. சீரான ஃபிலிம் படிவு அடைய சுழல் நீரோட்டங்கள் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளைத் தவிர்க்கவும்.

மிக முக்கியமாக, MOCVD செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு பொருள் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவேVetek செமிகண்டக்டர்கள்Aixtron MOCVD ஏற்பிஅதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களையும் தாங்கும்.

Basic physical properties of SIC பூச்சு:

VeTek செமிகண்டக்டர் வேஃபர் படகு கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: